MILA-700AR風(fēng)冷桌面型快速退火爐
MILA-700AR是一款風(fēng)冷桌面型的快速退火爐。相較于MILA-5000,該設(shè)備加熱過(guò)程中不需要外接水冷,可由設(shè)備自身配置的風(fēng)冷系統(tǒng)進(jìn)行降溫。
應(yīng)用 | 特點(diǎn): |
1. 晶圓,復(fù)合晶圓的快速加熱 | 1. 50°C / s快加熱 |
2. 光化學(xué)氣相沉積襯底加熱 | 2. 可在真空,惰性氣體,流動(dòng)氣氛,空氣的氣氛下進(jìn)行加熱 |
3. 熱循環(huán)測(cè)試 | 3. 精確的溫度控制 |
4. 涂膜的耐熱性評(píng)估 | 4. 緊湊的臺(tái)式設(shè)計(jì),工作無(wú)需匹配水冷循環(huán)系統(tǒng) |
5. 有機(jī)材料和樹脂的加熱和干燥 |
參數(shù)