加速度傳感器
ACC加速度傳感器是微結(jié)構(gòu)探針(MSS)的基本單元。為了確定仿形過程中的振動水平,MSS探頭配備了一個高度靈敏的振動控制傳感器。振動控制傳感器使用壓電陶瓷元件測量輪廓儀在一個方向上的水平加速度。輪廓儀的水平加速度在ACC傳感器內(nèi)部的懸臂結(jié)構(gòu)處產(chǎn)生升力。提升力以及傳感器的輸出與加速度成比例。
ACC傳感器安裝在探頭內(nèi)部。在ACC殼體的底部是一個安裝螺紋M4。黃銅圓柱體內(nèi)部是壓電元件和用于放大超高阻抗傳感器信號的小型SMD前置放大器。
技術(shù)參數(shù):
加速度傳感器/SST-ISW
尺寸:直徑10毫米,長度70毫米;
材料:黃銅;
響應(yīng)時間:4ms;
原理:壓電元件;
用于:MSS60、MSS90、MSS90L、MSS90LH、MSS90D、MSS90DH、MSS90DM、
MSS90DM。