■ 共通規(guī)格
接觸方法 | 軟性接觸/ 硬性接觸( 部分選配) |
對準(zhǔn)精度 | 使用對物鏡20×?xí)r<1.2μm(M-1S除外) |
對準(zhǔn)顯微鏡 | 雙視野顯微鏡 對物鏡間隔18~60mm |
曝光波長 | 多頻率(h.i.g線) |
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刷涂機(jī)、刮涂機(jī)、噴涂機(jī)
:李先生 (微信同號)
對準(zhǔn)曝光機(jī)
MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200(密封)、MS-B300( 密封)
顯影刻蝕裝置