多頭單臺面,易于雙機連線
雷射器模組 20W
自動化可選機械手或雙機連線
適用于內(nèi)外層制程
量產(chǎn)解析力:50/50um
一鍵料號生成,一鍵曝光
能量自動跟蹤(選配)
分區(qū)對位和自動漲縮
自動系統(tǒng)標定
節(jié)約菲林成本
支持拼版
支持有孔對位、無孔對位(背面對位)
節(jié)約人工和制程時間
支持Panel級的資訊追溯
支持274X, 274D,DXF 和 ODB++(選配)
高產(chǎn)能,高精度,高良率
生產(chǎn)規(guī)格 Specification | 1 | 電路板尺寸 Panel Size | 200mm×200mm-630mm×810mm | ||||
2 | 電路板厚度 Thickness Panel | 0.03mm-5.00mm | |||||
工作臺面 Workbench | 3 | 臺面數(shù)量 Workbench | 單臺面 Single Workbench | ||||
4 | 對位方式 Alignment Mode | 雙CCD對位 Double CCDs Alignment | |||||
光學系統(tǒng) Optical System | 5 | 光源種類 Light Type | 光纖雷射器 (LD) Laser Diodes 405±5nm | ||||
6 | 冷卻方式 Cooling Mode | 水冷 Water Cooling | |||||
7 | 光源規(guī)格 Light Power | 80W | 120W | ||||
8 | 光機數(shù) O.S. Number | 4 | 6 | ||||
9 | 光斑均勻性 Illumination Uniformity | >95% | |||||
10 | 感光焦深 DOF | ±250um | |||||
生產(chǎn)能力Throughput | 11 |
產(chǎn)能Throughput | 光功率 Light Power | 80W | 120W | ||
12 | 過板量(Sides) 24"*21" | 20mj/cm2 | 219/h | 265/h | |||
13 | 90mj/cm2 | 140/h | 185/h | ||||
14 | 120mj/cm2 | 119/h | 158/h | ||||
15 | 含3秒上下板時間 | ||||||
16 | 每面過板時間Timespan/Side 24"*21" | 20mj/cm2 | 13.3s | 10.5s | |||
17 | 90mj/cm2 | 22.1s | 16.3s | ||||
18 | 120mj/cm2 | 27.1s | 19.6s | ||||
19 | 不包含上下板時間 | ||||||
20 | 曝光能量 Resist Energy | ≤1000mj/cm2 | |||||
21 | 量產(chǎn)解析力 Mass Resolution | 50um/50um | |||||
22 | 感光材料類型 Resist Type | 傳統(tǒng)干膜、高感干膜 DryTraditional Dry Film. High Sensitive Dry Film | |||||
23 | 無孔對位精度 No-hole Alignment Precision | 24um | |||||
24 | 對位精度 Alignment Precision | ±12um | |||||
控制系統(tǒng)Control System | 25 | 作業(yè)系統(tǒng) Operation System | Win10 | ||||
26 | 控制方式 Control System | 工業(yè)級電腦 IPC(Industrial PC) | |||||
27 | 軟體操作語言 Culture | 中文/英文 Chinese/English | |||||
生產(chǎn)及環(huán)境需求Environment Requirement | 28 | 翻板方式 Flip Mode | 左右翻板 Flip Left to Right | ||||
29 | 漲縮管控 Scale Mode | 固定漲縮、自動漲縮、管控預警 Fixed, Automatic, JE/PE Control | |||||
30 | 檔案格式 CAM Format | Gerber 274X/274D/TIFF/DXF/ODB++(Optional) | |||||
31 | 靠齊方式 Alignment Mode | 左下靠齊 Left-Bottom | |||||
32 | 室內(nèi)照明 Clean Room | 黃光萬級 / Clean Room10000 Level | |||||
33 | 環(huán)境溫度 Temperature | 22±2℃ | |||||
34 | 環(huán)境濕度 Humidity | 50±10%RH | |||||
機臺外型 Profile | 35 | 機臺尺寸 Length*Width*Height | 2500mm×1562mm×1638mm | ||||
36 | 機臺重量 Weight | 3500kg | |||||
37 | 外殼材質(zhì) Enclosure Material | 不銹鋼外殼 Stainless Steel | |||||
輸入需求 Input Requirement | 38 | 電力需求 Electric Condition | AC380V±5%/50-60Hz/25A/三相四線 AC380V±5%/50-60Hz/25A/Three-phase four-wire | ||||
39 | 氣源需求 Air Condition | 正 壓 6kg/cm²/ 管 徑 (φ) 6mm Pressure Positive 6kg/cm² / Pipe(φ) 6mm |