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      KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      • 公司名稱北京燕京電子有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地北京市
      • 廠商性質其他
      • 更新時間2023/8/26 13:52:24
      • 訪問次數(shù)410
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      北京燕京電子有限公司成立于1988年,注冊資金2124萬元,公司位于北京城東北部酒仙橋的中關村電子城科技園區(qū)內,建筑面積2000多平方米,地理位置*,交通便利。公司成立29年以來,燕京電子一貫秉承"以科技為先導,以服務為根本"的宗旨,為科研院所和生產(chǎn)企業(yè)提供*的儀器設備及解決方案,以其良好的企業(yè)形象和品牌價值,發(fā)展成了業(yè)內口碑好的儀器設備服務商之一。 燕京電子一直以"科技"的姿態(tài),將的儀器、技術和解決方案引入國內,并依托于公司強大的技術力量,為客戶創(chuàng)造價值,幫助客戶成功。目前,公司已經(jīng)形成多個產(chǎn)品系列,如電子測量儀器、表面物性分析儀器、生命科 學及化學分析儀器、等離子表面處理設備等;產(chǎn)品應用領域包括物理學、光學、材料科學、納米技術、環(huán)境及食品安全等領域;客戶覆蓋了全國各科研機構、大 學實驗室和企業(yè)研發(fā)機構,與他們建立了長期的合作關系。 燕京電子堅持以客戶為導向,強化服務意識,提高服務質量。公司設有市場部和銷售部,擁有專業(yè)的技術支持團隊和商務操作團隊,為客戶提供專業(yè)化的售前、售中、售后服務,地節(jié)約客戶的資金成本和時間成本,與客戶共同發(fā)展。公司設有獨立測試演示中心,引進了等離子表面處理設備、鎖相放大器,信號發(fā)生器等樣機,為客戶提供樣機操作演示,樣品測試和產(chǎn)品代工服務,滿足客戶的需求。 北京燕京電子有限公司期待與您的真誠合作!
      KLOE微流控芯片光刻機/曝光機UV-KUB系列圖片簡介法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗
      KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列 產(chǎn)品信息

      KLOE 微流控芯片光刻機/曝光機 UV-KUB系列


      圖片

       

      簡介


      法國KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗,其研發(fā)的UV- KUB系列光刻機是一種基于UV LED的曝光機系統(tǒng),結構緊湊,可以直接放置在實驗臺上,能夠處理可達直徑4英寸的晶圓,兼容硬接觸(接觸式)或者軟接觸(接近式)工藝,可自動調整掩膜高度以適應不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要預熱,也不需要單獨的冷卻單元。另外,UV-KUB系列*的設計,保證了光源的準直性和均勻性,其zui小分辨率可達2μm,發(fā)散角小于2°

      本系統(tǒng)適用于市面上常用的光刻膠,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。


      規(guī)格參數(shù)


       

      項目

      UV-KUB 2

      UV-KUB 3

      最小分辨率

      2 μm

      2 μm

      光源波長

      365 nm / 385 nm / 405 nm

      365 nm

      能量密度

      25 mW / cm2 ± 10 %

      30 mW / cm2 ± 10 %

      熱效應升溫

      < 1°C

      < 1°C

      曝光時間

      1s~18 hours

      1s~18 hours

      存儲程序數(shù)量

      10個

      無限制

      對準分辨率

      /

       < 3 μm

      外形尺寸

      260 x 260 x 260 mm3

      480 x 480 x 480 mm3

      重量

      8.2 kg

      55 kg

      顯示屏

      彩色觸摸屏5.7 inches

      彩色觸摸屏15.6 inches

       

       

      功能圖解


      UV-KUB 2型光刻機,是國際市場上一款采用UV-LED光源系統(tǒng)的光刻機,其配備了基于LED光源的光學頭,使用壽命大大提高,結構小巧,性價比高,非常適合實驗室應用。

       

      UV-KUB 3是一款帶對位功能的UV-LED曝光機,光源為365nm,其觸摸屏和CCD相機代替了傳統(tǒng)的顯微鏡及雙筒目鏡,控制器提供了圖像捕獲、測量以及對齊坐標的記錄等功能,可以實現(xiàn)預對準,這樣,用戶再通過操作手柄便能方便的進行對準操作。

       

       

       

       

       

       

       

      UV-KUB 2 

       

       

       

      UV-KUB 3

       

      應用系統(tǒng)


      微流控芯片

      MEMS器件

       

       

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