濺射蒸碳儀

濺射蒸碳儀

技術(shù)規(guī)格                                         參數(shù)                              
主機(jī)                              300mm×360mm×380mm（W×D×H）          
副機(jī)                              300mm×360mm×140mm（W×D×H）        
真空規(guī)                              皮拉尼真空計(jì)                              
濺射靶                                二極直流濺射靶 （標(biāo)配）磁控靶（選配）                                  
靶材尺寸                              Φ50mm×0.1mm（D×H）                
靶材                                  Au(純度99.99%）                          
蒸發(fā)材料                          碳纖維繩                                          
樣品室尺寸                          160mm×120mm（D×H），硼硅酸鹽玻璃              
濺射面積                          Φ50mm                                          
蒸碳面積                          140mm                                        
高真空度                          ≤4×10-2mbar                                      
濺射大電流                      50mA  （磁控靶100mA）                                            
熱蒸發(fā)大電流                      100A                                              
濺射定時(shí)器時(shí)間                      0-360s                                          
熱蒸發(fā)時(shí)間                          0-1s                                                  
微型真空氣閥                      可連接φ3mm軟管                                        
可通入氣體                          多種                                                
濺射高電壓                     -1600DCV                                      
熱蒸發(fā)高電壓                     28V                                                
電源                             220V AC,50Hz接地三腳插頭                          
機(jī)械泵                             2L/S                                                
重量                             40Kg