1、真空系統(tǒng)為散泵機(jī)組:即為擴(kuò)散泵+旋片真空泵;由高真空擴(kuò)散泵擋板、旋片真空泵、電磁真空帶充動(dòng)檔板閥(出前級管路充氣閥、連接管路、密封圈、復(fù)合真空計(jì)及配電柜等組成的抽氣系統(tǒng)

2、本機(jī)組不適宜抽除對金屬有腐蝕作用和對泵油起化學(xué)反應(yīng)的氣體。它可作為真空冶煉、真空燒結(jié)、真空熱處理、真空鍍膜、真空釬焊、太空模擬實(shí)驗(yàn)裝置等高科技設(shè)備的髙真空獲得裝置。工作環(huán)境溫度540℃,相對濕度不大于85%,冷卻水溫度25℃+5℃

3、真空度與真空泵的抽氣能力、艙室的密封性以及艙室內(nèi)部材料(爐體內(nèi)壁、實(shí)驗(yàn)器件、熱沉等)的放氣量有關(guān),本機(jī)組的極限壓力為1×10-3pa,使用壓力為1×10-2pa,抽氣時(shí)間約

4、擴(kuò)散泵不能單獨(dú)形成抽氣,需由前級泵將系統(tǒng)壓力降低至擴(kuò)散泵要求啟動(dòng)的壓力之內(nèi),一般為≤10pa

5、在擴(kuò)散泵的進(jìn)氣口裝有新型的水冷檔板,可有效的防止擴(kuò)散泵中的油蒸汽返流入真空室內(nèi),避免對實(shí)驗(yàn)儀器的污染

6、為了防止前級泵中的真空油在停泵時(shí)返流入擴(kuò)散泵泵腔內(nèi),需在前級真空的進(jìn)氣口配電磁閥,在停泵時(shí)自動(dòng)將系統(tǒng)管路隔離

7、閥門采用氣動(dòng)動(dòng)方式,操作方便。

8、在開始抽氣時(shí),此系統(tǒng)中設(shè)置有預(yù)抽管路,被抽氣體不經(jīng)過擴(kuò)散泵而由前級泵直接抽岀,這樣做可避免被抽窖器中氣體對擴(kuò)散泵的污染(水分、揮發(fā)物、雜質(zhì)),待被抽容器壓力降低至a時(shí),關(guān)閉預(yù)抽閥、開啟擋板閥,擴(kuò)散泵開始對被抽答器開始正常抽氣。