光刻機介紹
曝光裝置 MA-1200 基板追大尺寸 200 x 200mm ?4″ ~ ?6″
光源 超高壓水銀燈 :500W or 1kW
曝光裝置 MA-1400 基板追大尺寸400 x 400mm
光源 超高壓水銀燈 :2kW or 3.5kW
LED,LN曝光裝置MA-4000 圓晶尺寸?2~4″或者?4~6″
光源 超高壓汞燈:500W 或 1kW
?200mm/?150 mm 對應(yīng)曝光裝置MA-4301M 材料SI 玻璃, 對齊精度自動對齊:+/- 1 μm(
峰值搜索)
?300mm對應(yīng)曝光裝置MA-5301ML 光源超高壓汞燈:3.5kW ?200mm規(guī)格也可對應(yīng)
マスクレス露光裝置MX-1201 曝光掃描速度43.94mm/s 有效曝光區(qū)域200 x 200 追大曝光量(※3)245/70/245+70
マスクレス露光裝置MX-1201E 曝光掃描速度22.5mm/s 有效曝光區(qū)域200 x 200 追大曝光量(※3)460/70135
マスクレス露光裝置MX-1205 曝光掃描速度9/4.5mm/s 有效曝光區(qū)域100 x 100 追大曝光量(※3)100/50
主要規(guī)格
型式 | MX-1201 | MX-1201E | MX-1205 | |||||
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*小線幅 (※1) | [μm] | 5 | 3 | 2 | 1 | |||
數(shù)據(jù)分辨率 | [μm] | 0.488 | 0.25 | 0.1 | 0.05 | |||
*大基板尺寸 | [mm] | 200 x 200 | 200 x 200 | 100 x 100 | ||||
有效曝光范圍 | [mm] | 200 x 200 | 200 x 200 | 100 x 100 | ||||
激光主波長 | [nm] | 405 | 375 | 405 + 375 | 405 | 375 | 375 | |
曝光掃描速度 | [mm/s] | 43.94 | 22.5 | 9 | 4.5 | |||
節(jié)拍時間 | [s,min] | 180 [s] | 320 [s] | 16 [min] | 27 [min] | |||
*大曝光量 | [mJ/c㎡] | 245 | 70 | 245 + 70 | 460 | 135 | 50 | 100 |