光刻機(jī)介紹
曝光裝置 MA-1200 基板追大尺寸 200 x 200mm ?4″ ~ ?6″
光源 超高壓水銀燈 :500W or 1kW
曝光裝置 MA-1400 基板追大尺寸400 x 400mm
光源 超高壓水銀燈 :2kW or 3.5kW
LED,LN曝光裝置MA-4000 圓晶尺寸?2~4″或者?4~6″
光源 超高壓汞燈:500W 或 1kW
?200mm/?150 mm 對(duì)應(yīng)曝光裝置MA-4301M 材料SI 玻璃, 對(duì)齊精度自動(dòng)對(duì)齊:+/- 1 μm(
峰值搜索)
?300mm對(duì)應(yīng)曝光裝置MA-5301ML 光源超高壓汞燈:3.5kW ?200mm規(guī)格也可對(duì)應(yīng)
マスクレス露光裝置MX-1201 曝光掃描速度43.94mm/s 有效曝光區(qū)域200 x 200 追大曝光量(※3)245/70/245+70
マスクレス露光裝置MX-1201E 曝光掃描速度22.5mm/s 有效曝光區(qū)域200 x 200 追大曝光量(※3)460/70135
マスクレス露光裝置MX-1205 曝光掃描速度9/4.5mm/s 有效曝光區(qū)域100 x 100 追大曝光量(※3)100/50
主要規(guī)格
MUM系列 掩膜尺寸 Max 9″ x 9″ x t3.0 mm 基板尺寸 Max Φ8″(Wafer) 光源 超高壓水銀燈:500W or 1kW 外觀尺寸及重量 本體尺寸 W2120 x D1305 x H1850 mm 本體重量 640kg
MUM系列 | ||
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掩膜尺寸 | Max 9″ x 9″ x t3.0 mm | |
基板尺寸 | Max Φ8″(Wafer) | |
光源 | 超高壓水銀燈:500W or 1kW | |
外觀尺寸及重量 | 本體尺寸 | W2120 x D1305 x H1850 mm |
本體重量 | 640kg |