測量范圍: 1 nm -800um
波長范圍: 200 nm -1700 nm
光斑直徑:200um-4um
適用于實時在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。
測量指標:薄膜厚度,光學常數(shù)
界面友好強大: 一鍵式測量和分析。
實用的工具:曲線擬合和靈敏度分析,背景和變形校正,連接層和材料,多樣品測量,動態(tài)測量和產(chǎn)線批量處理。
性能參數(shù):


測量100nm二氧化硅薄膜,40um光斑直徑,波長范圍:200-1000nm:

測量100nm二氧化硅薄膜,40um光斑直徑,波長范圍:200-1000nm
MProbe 40(MSP) 系統(tǒng)標準參數(shù) | ||||
型號 | 波長范圍(nm) | 光譜儀/探測器 | 光源 | 厚度 |
Vis-MSP | 400-1000 | Spectrometer F4/Si CCD 3600 pixels/ ADC- 16 bit | Tungsten-Halogen | 10nm- 75µm |
UVVisSR-MSP | 200-1000 | Spectrometer F4/Si CCD 2048 pixels/ ADC- 16 bit | Deuterium/Tungsten-Halogen | 1nm-75µm |
HRVis-MSP | 700-1100 | Spectrometer F4/Si CCD 2048 pixels/ ADC- 14 bit /resolution | Tungsten-Halogen | 1µm-400µm |
NIR-MSP | 900-1700 | F4 Spectrometer InGaAs CCD 512 pixels: ADC- 16 bit | Tungsten-Halogen | 50nm- 85µm |
VisNIR-MSP | 400-1700 | Two spectrometer channels/ detectors (F4 Si 3600 pixels CCD and F4 InGaAs 512 pixels PDA) /ADC- 16 bit | Tungsten-Halogen | 10nm- 85µm |
UVVisNIR-MSP | 200-1700 | Two spectrometer channels/ detectors (F4 Si 2048 pixels CCD and InGaAs 512)/ ADC – 16 bit | Deuterium/Tungsten-Halogen | 1nm-85µm |
VisXT-MSP | 800-870 | F4 spectrometer/InGaAs 512 pixels PDA | Tungsten-Halogen | 10µm-1400µ |