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      瑞士Sawatec ispay-300 3D微觀結構的均勻噴涂機

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      • 公司名稱深圳市藍星宇電子科技有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地
      • 廠商性質其他
      • 更新時間2023/7/3 12:04:23
      • 訪問次數(shù)243
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      深圳市藍星宇電子科技有限公司,經(jīng)過十多年的紫外光專業(yè)技術沉淀,可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務,研發(fā)設計組裝:紫外臭氧清洗機(UV清洗機),準分子清洗機,等離子清洗機/去膠機等科研以及生產(chǎn)設備,擁有自主品牌及注冊商標。 同時我們代理歐美日多家高科技設備廠家高性價比產(chǎn)品, 始終堅持創(chuàng)新, 技術, 服務, 誠信的企業(yè)文化,為廣大中國及海外客戶提供的儀器設備和材料的整體解決方案。 應用領域: 半導體/微納,光電/光學, 生命科學/生物醫(yī)療等領域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機構等。 半導體/微納,光電/光學 產(chǎn)品主要有: 德國ParcanNano(Nano analytik)針尖光刻機,電子束光刻機, 激光直寫光刻機,紫外光刻機,微納3D打印機,德國Sentech刻蝕機/鍍膜機及原子沉積,英國HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機,微波離子沉積機MPCVD,芬蘭Picosun原子層沉積機,電子顯微鏡, 德國Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質譜/波譜儀,美國Sonix超聲波顯微鏡, 德國耐馳Netzsch熱分析儀, 德國Optosol吸收率發(fā)射率檢測儀, 日本SEN UV清洗機/UV清洗燈,美國Jelight紫外清洗機/紫外燈管,德國Diener等離子清洗機等*技術產(chǎn)品。 生命科學/生物醫(yī)療 產(chǎn)品主要有:PCR儀,核酸質譜儀/核酸檢測儀,電子顯微鏡,紫外設備,光譜/色譜/質譜/波譜儀,生物芯片,試劑,實驗耗材等。 并可依據(jù)客戶需求,研發(fā)定制相關產(chǎn)品。我們以高性價比的優(yōu)勢為客戶提供優(yōu)質的產(chǎn)品與服務,為高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機構等客戶提供儀器設備和材料。
      瑞士Sawatec Leaflet_ispay-300_cn 3D微觀結構的均勻噴涂機,是一款精密的噴膠機,適用于手動噴涂或噴霧顯影工藝,主要被應用于研究與開發(fā)實驗室,尤其是 MEMS 加工的試產(chǎn)和小量產(chǎn)場合。
      瑞士Sawatec ispay-300 3D微觀結構的均勻噴涂機 產(chǎn)品信息

      瑞士Sawatec Leaflet_ispay-300_cn 3D微觀結構的均勻噴涂機


      針對具備高度結構化晶圓形貌、深度 MEMS 結構或不平整表面特征的基板,SAWATEC 公司的 iSPRAY 能夠確保盡可能均勻的噴涂效果。它是一款精密的噴膠機,適用于手動噴涂或噴霧顯影工藝,主要被應用于研究與開發(fā)實驗室,尤其是 MEMS 加工的試產(chǎn)和小量產(chǎn)場合。


      經(jīng)過工藝優(yōu)化的噴嘴能夠結合低粘度的、特別適用于噴涂作業(yè)的光刻膠(例如 Shipley1813、AZ 4999、AZ 9260、SU8 等)生成細的小液滴。在一個封閉式工藝室中噴嘴經(jīng)由“弓”字型行進路徑進行噴涂,由此可以確保整個基板表面上均勻的噴涂效果以及高度可再現(xiàn)性。該設備可用于圓形或正方形基板,最多可同時噴涂 4 個晶基。



      功能(基本配置)


      ??删幊蹋疃?50 個程序(各包含 24 個程序段)

      。適用于重復工藝的快速啟動功能

      。觸摸屏面板控制,方便用戶程序配置

      。工藝參數(shù):噴嘴行進路徑,噴灑臂速度,噴灑時間,錐形束形狀電氣驅動的噴灑臂,其在 X 或 Y 軸方向上的速度可選

      ??烧{整的噴嘴,具有恒定的噴灑壓力和自動的清潔功能

      。手動裝卸基板

      。工藝結束時的聲音信號



      性能數(shù)據(jù)

      。噴灑量:(50 cl) 容量的緩沖裝置,結合具有液位檢查功能的給膠泵

      。噴灑介質的粘度:0.3 至 25 cSt (µPas)

      。噴嘴:液滴尺寸小于 7 微米,典型:3微米

      。噴灑臂的速度和定位精度: 0.4 m/s;±0.1mm

      。每個分段的噴灑時間:最長為9999 秒,調節(jié)步幅為 0.1 秒

      。噴灑循環(huán)的數(shù)目:最多 20 個曲回循環(huán)環(huán)境溫度:+4 至 +60°C

      附加功能(可選項)

      。加熱板溫度為 150°C,可用加熱面為 Ø300mm

      。旋轉卡盤轉速為6,000rpm +/-1rpm 1)

      ??杉訜岬男D卡盤,轉速為 1,500 rpm, 溫度為 150°C

      。噴嘴用 Z 升降軸


      附加裝備

      X 與 Y 方向上標準的噴灑方式還可與一個轉動的旋轉卡盤(帶有或沒有加熱裝置)相結合,進而改善特定形貌上噴涂的分布情況以及提高噴涂全面性。

      此外,還可以在 iSPRAY-300 上裝配一個加熱板。這樣一來,即使是高粘度的光刻膠也能對少量覆蓋的孔洞進行有效成形, 以及確保邊緣涂布。


      設計和尺寸

      。電解拋光不銹鋼制成的可移動機身

      。不銹鋼制工藝腔體

      ??捎^察工藝過程的玻璃前門

      。用于噴嘴定位的精密 AC 伺服電機

      。尺寸:850 x 750 x 2333mm(長 x 寬 x 高) 重量:約220kg

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