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      產(chǎn)品|公司|采購|資訊
      
 
      
        	
            
        
      
			
      
	
      
	
      

		
      
		 	
		 
      
		
      
				
			
      
				
      桌上型曝光機
      
							    
				
      
								
      
					
      
														
      參考價面議
      
												
      
					
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      
				
      
				                  
      
								
      
					
        
						
      • 公司名稱德?lián)P光電有限公司
						           
           
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      • 品       牌
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      • 型       號
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      • 所  在  地
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      • 廠商性質(zhì)其他
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      • 更新時間2023/6/21 11:56:04
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      • 訪問次數(shù)188
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					產(chǎn)品標簽:
										
      
					
				
      
								
      
					在線詢價收藏產(chǎn)品
					
					 					 
					點擊查看電話
										
					
					                     
                    					
      聯(lián)系我們時請說明是 智能制造網(wǎng) 上看到的信息，謝謝!
      
				
      
					
			
      
			
      
		
      
  
		
      
			
      
				
				
      
				
      
					
      本公司成立于2006年,為一小型之設(shè)備制造廠,專精于半導(dǎo)體微影制程之光罩對準曝光機及曝光源之開發(fā)制造,從曝光燈箱內(nèi)的光學(xué)設(shè)計到各種型式的完整曝光機,本公司經(jīng)多年努力已自行開發(fā)完成,并已出貨國內(nèi)外眾多客戶。
      
				
      
				
				
      
				
				
      
					曝光機
				
      
							   			
							
				
      
				
      
			        
      
    	             			        
      
				
      
				
      
  				 
					產(chǎn)品簡介： 保有全手動之完整功能， 取消手動機下方之機架以及后方之箱體，做最簡化之設(shè)計， 適合預(yù)算不多之客戶 。
				
      
				
      
				
      
                
                
                
                
      
				
      
				
      
					
      
						桌上型曝光機 產(chǎn)品信息
					
      
					
      
						      
               
                           
                                    
                
                    
       
      桌上型曝光機
        
      適合研究單位使用 
        
      產(chǎn)品簡介： 
      保有全手動之完整功能， 取消手動機下方之機架以及后方之箱體，做最簡化之設(shè)計， 適合預(yù)算不多之客戶 。
       
              
           
            
               
      曝光燈源
       
      紫外光源功率 : 350W or 500W 。
       
      曝光光源尺寸 : 4″， 5″ ，6″ ， 8″。
       
      波長 : NUV(350W時365nm強度約16~20mW/cm2) 。
       
      均勻度 : +-5% 。
       
      電源供應(yīng)器 : 定功率控制 。
       
      快門控制計時器 : 0.1~999.9秒。
       
       
      影像系統(tǒng)
       
      采用可變倍率鏡頭影像系統(tǒng)，總影像倍率100X-600X， 小型高解析黑白CCD攝影機，
       
      19”LCD熒幕 LED同軸光源打光，影像解析度可達 1um 鏡頭位置調(diào)整，可前后左右上下微調(diào)約 20mm ，
       
      可選擇使用一組或兩組影像系統(tǒng)， 選配快速掃描臺，可快速移動鏡頭，前后左右移動約 10cm 。
       
       
      曝光對準臺
       
      光罩真空吸盤 : 4”，5″， 6” 下吸式 。
       
      晶圓真空吸盤 : 破片，2”，3″ ，4″ 或  5” ，具光罩與晶圓平行面校正功能，
       
      晶圓真空吸盤可前后左右調(diào)整約 10mm，調(diào)整靈敏度 1um 旋轉(zhuǎn)調(diào)整約 5度，
       
      調(diào)整靈敏度 0.001度 Z軸可調(diào)整約 3mm， 調(diào)整靈敏度 1um， Z軸具千分表可顯示光罩與晶圓間距， Z軸可設(shè)定對準與曝光兩種間隙，
       
      可調(diào)整接觸真空吸附力大小， 曝光模式有 Vacuum contact，Soft contact， Proximity，
       
      人工置放晶片與調(diào)整晶片位置，取放晶圓時光罩吸盤以手開啟。
       
       
      操作系統(tǒng)
       
      采全手動撥鈕操作系統(tǒng)以手動控制面板操作。
       
      操作項目包括光罩與晶圓之更換，光罩與晶圓間隙之切換， 光罩與晶圓平行面校正，真空接觸之切換與真空值調(diào)整Z軸的歸零，
       
      鏡頭與曝光源左右交替移至對準臺上方，并有安全互鎖功能。
       
       
      機座
       
      桌上型大底板機座，具調(diào)整腳。
       
       
      性能
       
      采真空接觸曝光圖形解析可達 1um， 近接曝光依光罩與晶圓間隙可達 3~5um。
       
           
            
                   
        
					
      

										
									
      
			
      
			
			
      
		
      
						
      
			
      
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