- 產(chǎn)品詳細(xì)介紹
- 詳細(xì)參數(shù)
項(xiàng)目 | 主要規(guī)格 |
曝光方式 | 單燈單面曝光(上面)、平行光源 |
有效照射面積 | 400*410mm/400*500mm/450*550mm/550*650mm/620*750mm(可根據(jù)客戶需求定制) |
強(qiáng)度均勻性 | 均勻度≥90% |
平行半形 | ≤2.0º |
傾斜角 | ≤1.5º |
解析度 | L/S 10μm(玻璃菲林) |
光強(qiáng)控制 | 能量光強(qiáng)≥45 mw/cm²(8kw) 能量光強(qiáng)≥30mw/cm²(5kw) |
光強(qiáng)波長(zhǎng) | 中心波長(zhǎng)365um管理波長(zhǎng)300-450um |
燈管規(guī)格 | 5KW or 8KW or 10KW汞燈(平行光曝光燈) |
燈管部份 | 保用1000小時(shí)、在1000小時(shí)內(nèi)燈管能量衰減小于等于30% |
機(jī)器規(guī)格 | 2800*1200*2200MM(長(zhǎng)寬高)參考尺寸 |
環(huán)控柜規(guī)格 | 2800*1200*2200MM(長(zhǎng)寬高)參考尺寸 |
機(jī)器外觀 | 不銹鋼鏡面板 |
CCD選擇 | 4CCD 品牌:WATEC(日本) |
重復(fù)對(duì)位精度 | ±5um |
接觸方式 | 近似接觸,(軸位置檢測(cè)),保留吸真空曝光模式 |
冷卻方式 | 燈室內(nèi)回圈方式冷卻,工作臺(tái)采用1000級(jí)過濾空氣冷卻,風(fēng)量可調(diào) |
曝光控制方式 | 時(shí)間和能量?jī)煞N方式 |
曝光環(huán)境 | 溫度:22+/-1℃ 溫度:55%+/-5 |
人機(jī)界面 | 觸控式熒幕顯示器 |
冰水需求 | 30L/min壓力2KG水溫≤12º1英寸配管 |
壓縮空氣需求 | 流量:30L/min ψ8mm 5.5KG/CM2以上 |
電力需求 | 三相五線380VAC,3ψ50HZ, 40A |
工作平臺(tái) | X,Y,Y自動(dòng)微調(diào)平臺(tái)(臺(tái)制) |
電控裝置 | PC+PLC |