- 產(chǎn)品詳細(xì)介紹
- 詳細(xì)參數(shù)
內(nèi)容 | 規(guī)格 | |
A.一般規(guī)格 | ||
曝光系統(tǒng) | 光源:Hg-Xe短弧燈,輸出功率5KW,雙燈 | |
平行半角(CHA):2° 傾斜角(DA):2° | ||
均勻度:≥85%(min/max) 強(qiáng)度:20mw/cm²(玻璃上) | ||
有效曝光面積:546*622mm | ||
Panel規(guī)格 | 尺寸:254*304.8mm至558.8*635mm(10''*12"至22"*25") | |
厚度:0.05mm(不含銅)至2.0mm | ||
玻璃尺寸 | 上:L800*W718*8t 下:L709*W621*8t | |
PCB靠操作面中間對位 | ||
曝光作業(yè) | 雙面曝光/內(nèi)層板用底片CCD自動對位系統(tǒng),每片確認(rèn)。對準(zhǔn)精度±10um | |
底片尺寸 | 24"*27" Cycle Time:機(jī)械動作12秒+吸真空延遲+曝光時間 | |
密合模式 | 真空密合,真空度-300~-500mmHg(附表顯示) | |
操作方式 | 操作系統(tǒng):PC系統(tǒng)+PLC+人機(jī)界面 | |
機(jī)臺尺寸 | 外部尺寸:L 2900mm*W 2430mm*H 2190mm | |
輸送面高度:1120mm+30mm | ||
公用系統(tǒng) | 電力:AC380V 3φ 50Hz 60A 13KVA | |
氣壓源:>6Kg/cm2 | ||
B.系統(tǒng)架構(gòu) | ||
Panel傳送系統(tǒng) | 進(jìn)出料傳動:滾輪帶動 | |
薄板專用機(jī)構(gòu):進(jìn)出料Roller間加入支撐板 | ||
進(jìn)料定位:二段式靠邊定位,前緣利用滾輪慢速傳動定位 | ||
曝光室進(jìn)出移載:以伺服馬達(dá)帶動移載機(jī) | ||
移載機(jī)取置:氣缸帶動取置架上下,真空吸盤移載機(jī)裝置氣缸 | ||
帶動取置架上下,真空吸盤組依板寬手動調(diào)整 | ||
曝光臺框 | 玻璃對玻璃方式采用高UV透光率玻璃 | |
上臺框由伺服馬達(dá)帶動開關(guān),上下框間由四支定位銷定位 | ||
底片吸附在臺面真空槽,PCB以下臺框真空吸附 | ||
靜電消除 | 于進(jìn)料段裝置上下靜電消除棒 | |
冷卻 | 燈室冷卻:氣冷(內(nèi)循環(huán)) | |
曝光室冷卻:氣冷,抽取室內(nèi)空氣經(jīng)HEPA吹入曝光室 | ||
潔凈控制 | 客戶潔凈室等級需求:Class 10000 | |
機(jī)臺使用99.97%~99.99%HEPA Filter | ||
UV光源監(jiān)控 | ||
遮光器:水平移動,裝置在燈室外,由氣缸帶動 | ||
曝光計算:內(nèi)建UV能量積算器,可依能量或時間曝光 | ||
對位方式 | 4靶標(biāo)CCD影像對位 | |
底片固定 | 臺面玻璃 溝槽吸真空 | |
調(diào)整機(jī)構(gòu) | 微步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動上臺框微調(diào)機(jī)構(gòu) | |
控制方式 | 自動對位及觸控式熒幕PC+PLC | |
視覺光源 | LED式CCD背光組 | |
底片對位精度 | ±10μm內(nèi)(不含漲縮) | |
備注 | 外觀采SUS材質(zhì) |