- 產(chǎn)品詳細(xì)介紹
- 詳細(xì)參數(shù)
內(nèi)容 | 規(guī)格 | |
A.一般規(guī)格 | ||
曝光系統(tǒng) | 光源:鹵化金屬燈,輸出功率5KW,雙燈 | |
均勻度:≥85%(min/max) | ||
強(qiáng)度:40mw/cm² | ||
有效曝光面積:546*622mm | ||
Panel規(guī)格 | 尺寸:254*304.8mm至558.8*635mm(10''*12"至22"*25") | |
厚度:0.05mm(不含銅)至2.0mm | ||
玻璃尺寸 | 上:L800*W718*8t 下:L716*W628*8t | |
PCB靠操作面中間對位 | ||
曝光作業(yè) | 雙面曝光/內(nèi)層板用底片CCD自動(dòng)對位系統(tǒng),每片確認(rèn)。對準(zhǔn)精度±10um | |
底片尺寸 | 24"*27" Cycle Time:機(jī)械動(dòng)作12秒+真空延遲+曝光時(shí)間 | |
密合模式 | 真空密合,真空度-300~-500mmHg(附表顯示) | |
操作方式 | 操作系統(tǒng):PC系統(tǒng)+PLC+人機(jī)界面 | |
機(jī)臺尺寸 | 外部尺寸:2962L*2622W*2040H mm | |
輸送面高度:1040mm+50mm(卸下輪子高度可降980) | ||
機(jī)臺重量:3000Kg | ||
公用系統(tǒng) | 電力:AC380V 3φ 50/60Hz 24KVA | |
氣壓源:5~6Kg/cm2 | ||
冰水系統(tǒng):7~11℃,60-80L/min | ||
B.系統(tǒng)架構(gòu) | ||
Panel傳送系統(tǒng) | 進(jìn)出料傳動(dòng):滾輪帶動(dòng)PCB | |
進(jìn)料定位:二段式靠邊定位,前緣利用滾輪慢速傳動(dòng)定位, | ||
側(cè)邊以伺服馬達(dá)靠邊定位 | ||
曝光室進(jìn)出移載:配合線性滑軌,以伺服馬達(dá)帶動(dòng)移載機(jī)構(gòu) | ||
移載機(jī)取置:氣缸帶動(dòng)取置架上下,真空吸盤組依板寬手動(dòng)調(diào)整 | ||
曝光臺框 | 玻璃對玻璃方式采用高UV透光率玻璃 | |
上臺框由伺服馬達(dá)帶動(dòng)開關(guān),上下框間由四支定位銷定位 | ||
底片吸附在臺面真空槽,PCB以下臺框真空吸附 | ||
靜電消除 | 于進(jìn)料段裝置上下靜電消除棒 | |
冷卻 | 燈源冷卻:氣冷,內(nèi)循環(huán)直接氣冷;燈管壽命保固800小時(shí) | |
燈室冷卻:燈頭部份為空氣冷卻,燈管為間接氣冷 | ||
曝光室冷卻:氣冷,抽取曝光室內(nèi)空氣,經(jīng)HEPA過濾后,再經(jīng)冰水排系統(tǒng)冷卻吹入曝光室內(nèi),保持曝光室內(nèi)溫度,并控制臺面溫度 | ||
臺面溫度22℃±2℃ | ||
潔凈控制 | 機(jī)臺使用99.97%~99.99%HEPA Filter 客戶潔凈室等級需求:Class 10000 | |
UV光源監(jiān)控 | 光源保護(hù):UV點(diǎn)燈/熄燈/重點(diǎn)燈保護(hù) | |
功率控制:強(qiáng)弱燈切換 | ||
狀態(tài)監(jiān)視:內(nèi)建電壓、員流、功率及UV強(qiáng)度感測顯示 | ||
遮光器:旋轉(zhuǎn)開啟,裝置于燈室內(nèi),由馬達(dá)帶動(dòng) | ||
曝光監(jiān)控:內(nèi)建UV能量積算顯示 | ||
KW數(shù)切換 | 2KW、5KW切換 | |
對位方式 | 4靶標(biāo)CCD影像對位 | |
底片固定 | 臺面玻璃溝槽吸真空 | |
調(diào)整機(jī)構(gòu) | 微步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)上臺框微調(diào)機(jī)構(gòu) | |
控制方式 | 自動(dòng)對位及觸控式熒幕PC+PLC | |
視覺光源 | LED式CCD背光組 | |
底片對位精度 | ±10μm內(nèi)(不含漲縮) | |
備注 | 外觀為不銹鋼 |