- 產(chǎn)品詳細(xì)介紹
- 詳細(xì)參數(shù)
內(nèi) 容 | 規(guī) 格 | |||||
A.一般規(guī)格 | ||||||
電力系統(tǒng) | AC380V 3φ 50/60HZ 12 KVA | |||||
光源系統(tǒng) | 光 源 : 間接水冷式LED面光源燈組,輸出功率大于1.7KW | |||||
均勻度 : 85%以上 有效曝光面積 : 22"x25" | ||||||
照 度 : 80mw/cm2以上 | ||||||
Panel規(guī)格 | 尺 寸 : 12"x14"至 22"x25" | |||||
底片尺寸 : 24"x28"(610mm x 711mm) | ||||||
厚 度 : 0. 2mm至 3.0 mm | ||||||
曝光作業(yè) | 單面雙框作業(yè),順序進(jìn)入曝光室 | |||||
底片對(duì)位系統(tǒng) | 1.CCD 數(shù)量 : 4個(gè) | |||||
2.CCD 功能 : 對(duì)位準(zhǔn)度及底片漲縮檢查 | ||||||
3. 對(duì)位形式 : PCB 自動(dòng)對(duì)位 | ||||||
4. 底片固定 : 雙溝槽式真空吸附,真空度-680mmHg以上 | ||||||
5. 靶標(biāo)形式 : 上底片圓點(diǎn),PC板 PAD | ||||||
6. 制程板固定:Pin定位 | ||||||
7. 制程板對(duì)位:自動(dòng)對(duì)位 ± 15μm(機(jī)臺(tái)能力) | ||||||
操作方式 | 作業(yè)方式 : 人工取放板 | |||||
機(jī)臺(tái)尺寸 | 外部尺寸 : W1745 x D2790 x H2100 mm | |||||
外部變電箱尺寸: W1130 x D830 x H1000 mm(選配環(huán)控系統(tǒng)無(wú)此變電箱) | ||||||
B.系統(tǒng)架構(gòu) | ||||||
曝光臺(tái)框 | 雙曝光臺(tái)面,玻璃 VS 金屬 | |||||
臺(tái)面真空 | -200~-400mmHg | |||||
冷 卻 | LED光源 : 循環(huán)間接水冷式 | |||||
曝光室 : 風(fēng)冷
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客戶(hù)外圍配合 | 1.室溫 22℃±2℃,濕度 55%±5%之清潔環(huán)境 | |||||
2.純凈水: 20L | ||||||
3. 外接氣源:6Kgf/cm2 (流量60~200 L/min) | ||||||
選 配 | □環(huán)控系統(tǒng) | |||||
1.環(huán)控箱尺寸: L1300 x W700 x H1930 | ||||||
2.外部冰水要求: 7-11 ℃/40 l/min,1"管徑 x2,1/2" 管徑 x 1 | ||||||
3.Class 5000 HEPA 高級(jí)濾網(wǎng) |