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      產(chǎn)品|公司|采購(gòu)|資訊
      
 
      
        	
            
        
      
			
      
	
      
	
      

		
      
		 	
		 
      
		
      
				
			
      
				
      全自動(dòng)涂膠顯影機(jī)
      
							    
				
      
								
      
					
      
														
      參考價(jià)面議
      
												
      
					
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      
				
      
				                  
      
								
      
					
        
						
      • 公司名稱芯米（廈門）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
						           
           
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      • 品       牌
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      • 型       號(hào)
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      • 所  在  地
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      • 廠商性質(zhì)其他
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      • 更新時(shí)間2023/6/17 13:46:21
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      • 訪問(wèn)次數(shù)597
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					產(chǎn)品標(biāo)簽:
										
      
					
				
      
								
      
					在線詢價(jià)收藏產(chǎn)品
					
					 					 
					點(diǎn)擊查看電話
										
					
					                     
                    					
      聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是 智能制造網(wǎng) 上看到的信息，謝謝!
      
				
      
					
			
      
			
      
		
      
  
		
      
			
      
				
				
      
				
      
					源于中國(guó)臺(tái)灣團(tuán)隊(duì)25年經(jīng)驗(yàn)的專業(yè)黃光微影制程工藝及設(shè)備研發(fā)，結(jié)合、中國(guó)臺(tái)灣機(jī)構(gòu)、PLC電控、PC影像處理等各方面精英所組成，擁有8項(xiàng)國(guó)際發(fā)明及27項(xiàng)實(shí)用新型及外觀設(shè)計(jì)。專營(yíng)產(chǎn)品晶元制造黃光制程Coater and Developer（涂布顯影設(shè)備）系列，包括溫濕度控制機(jī)、供酸系統(tǒng)、光阻PUMP等配套設(shè)備，及國(guó)外機(jī)型的零件開發(fā)、工藝升級(jí)、設(shè)備改造服務(wù)等。
				
      
				
				
      
				
				
      
					
				
      
							   			
							
				
      
				
      
			        
      
    	             			        
      
				
      
				
      
  				 
					全自動(dòng)涂膠顯影機(jī) XMTA-800A
				
      
				
      
				
      
                
                
                
                
      
				
      
				
      
					
      
						全自動(dòng)涂膠顯影機(jī) 產(chǎn)品信息
					
      
					
      
						             
    1.              
      基片尺寸
                   
                       
      ψ50mm～ψ200mm
                   
                   
      2.              
    2.              
      Cassette 晶舟
                   
                       
      2-4個(gè)晶舟
                   
                   
      3.              
    3.              
       Coater Unit 涂膠單元
                   
                       
      1、PR類型：正膠/ 負(fù)膠 ；2、光刻膠噴頭 2 ~ 4 個(gè)； 3、EBR ( Edge Bead Remover )； 4、馬達(dá)旋轉(zhuǎn)速度 Max. 6,000rpm； 5、高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下)
                   
                   
      4.              
    4.              
      Robot Arm 機(jī)械手臂
                   
                       
       3軸; X1, X2, X3
                   
                   
      5.              
    5.              
      Hot Plate熱盤單元
                   
                       
       溫度50℃-180℃
                   
                   
      6.              
    6.              
      Cooling Plate冷盤單元
                   
                       
       溫度18-28℃
                   
                   
      7.              
    7.              
      機(jī)臺(tái)尺寸
                   
                       
       D(1200+2410)× W1700 × H2300 (mm)
                   
                   
      8.              
    8.              
       顯影機(jī)基片尺寸
                   
                       
       ψ50mm～ψ300mm
                   
                   
      9.              
    9.              
      Developer 顯影單元
                   
                       
      1、可應(yīng)用噴頭 Spray, Stream, E2 , H ；2、馬達(dá)旋轉(zhuǎn)速度 Max. 5,000rpm
                   
                   
      10.  
					
      

										
									
      
			
      
			
			
      
		
      
						
      
			
      
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