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CKF-121型勻膠顯影機(jī)

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公司名稱中國(guó).鑫有研電子科技有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/6/15 16:34:15
訪問次數(shù)275

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鑫有研電子科技有限公司（企業(yè)簡(jiǎn)稱：中國(guó)鑫有研,SIYOUYEN）系一家從事半導(dǎo)體集成電路工藝設(shè)備技術(shù)研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷售、服務(wù)于一體的綜合性企業(yè)。鑫有研:概念源自于21世紀(jì)初期美國(guó)，意為科技在社會(huì)技術(shù)方面應(yīng)用的體現(xiàn)，擁有“生活,科技”之桂冠美譽(yù)。鑫有研將科技領(lǐng)域的成功、社會(huì)責(zé)任和環(huán)境保護(hù)相結(jié)合。通過科技與創(chuàng)新，幫助微電子企業(yè)及高校實(shí)驗(yàn)室等機(jī)構(gòu)客戶滿足當(dāng)前及未來(lái)的需求。公司嚴(yán)格貫徹與規(guī)范實(shí)施ISO9001質(zhì)量管理標(biāo)準(zhǔn)體系和ISO14001環(huán)境管理體系標(biāo)準(zhǔn)；鑫有研擁有一批技術(shù)*、服務(wù)優(yōu)良的高素質(zhì)人才，和完善的售后服務(wù)體系。產(chǎn)品以其的品質(zhì)進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng),為國(guó)家重點(diǎn)工程配套、環(huán)保工業(yè)、科研、信息產(chǎn)業(yè)等做出了較大貢獻(xiàn)，獲得了廣大用戶的信賴與好評(píng)，鑫有研熱誠(chéng)歡迎廣大客戶、企業(yè)朋友等攜手共同進(jìn)步！1、微電子工藝設(shè)備方面鑫有研在半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、FPD領(lǐng)域濕制程設(shè)備的設(shè)計(jì)、研發(fā)、生產(chǎn)及銷售；同時(shí)代理半導(dǎo)體、太陽(yáng)能、FPD領(lǐng)域及其它國(guó)外設(shè)備，負(fù)責(zé)在中國(guó)市場(chǎng)的開發(fā)、推廣、服務(wù)！2、真空技術(shù)應(yīng)用方面鑫有研在真空行業(yè)領(lǐng)域，通過引近韓國(guó)、德國(guó)*的真空技術(shù)與合作，開發(fā)出了旋片真空泵，無(wú)油真空泵，防爆真空泵等。同時(shí)與韓國(guó)WONCHANG，韓國(guó)DOOVAC，韓國(guó)NARA，韓國(guó)G&M，韓國(guó)KMC，意大利DVP，等形成戰(zhàn)略聯(lián)盟，致力于真空技術(shù)的推廣與銷售！3、生物技術(shù)研發(fā)方面鑫有研在生物技術(shù)方面與國(guó)家各個(gè)重點(diǎn)科研領(lǐng)域機(jī)構(gòu)合作（質(zhì)檢，光學(xué)，教育，航天，海洋，石油，制藥，檢測(cè)等）共同致力于節(jié)能減排低碳環(huán)保產(chǎn)業(yè)，涉及節(jié)能環(huán)?；?、設(shè)備、研發(fā)和新技術(shù)推廣等工作！鑫有研企業(yè)先后榮獲：“中國(guó)質(zhì)量500強(qiáng)”“中國(guó)品牌500強(qiáng)”“中國(guó)”等榮譽(yù)！

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貼膜機(jī)

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勻膠顯影機(jī)型號(hào)CKF-121凈化勻膠顯影機(jī)是適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠

CKF-121型勻膠顯影機(jī) 產(chǎn)品信息

勻膠顯影機(jī)

型號(hào)CKF-121

凈化勻膠顯影機(jī)是適合半導(dǎo)體硅片的勻膠鍍膜等其用途廣泛包括適合半導(dǎo)體大型晶圓硅片,芯片,晶片,等各種膠體的工藝制版表面涂覆或光刻工藝勻膠。是集成電路及半導(dǎo)體件生產(chǎn)過程中涂復(fù)光致抗腐蝕劑的專用設(shè)備

設(shè)備中涂膠部分四個(gè)工位單片微型機(jī)控制四個(gè)工位同時(shí)工作或分別工作，即各工位的運(yùn)轉(zhuǎn)單獨(dú)傳動(dòng)，轉(zhuǎn)數(shù)單獨(dú)調(diào)節(jié)及單獨(dú)顯示。

為保證在涂膠工藝中不飛片，設(shè)備中吸頭和氣泵中間有四個(gè)電磁閥，同時(shí)增加一個(gè)負(fù)壓儲(chǔ)氣罐，保證了吸片牢固和可靠性。

設(shè)備中配有專用的空氣凈化裝置。

主要技術(shù)指標(biāo)：

主要技術(shù)指標(biāo)
顯影工位：一個(gè)操作工位
程序時(shí)間：顯影1—99秒漂洗1—99秒干燥1—99秒
旋轉(zhuǎn)器轉(zhuǎn)數(shù)： 500—8000轉(zhuǎn)/分（連續(xù)可調(diào)）
硅片直徑： Φ30—Φ75mm
凈化效果：美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)100級(jí)凈化
操作區(qū)風(fēng)速： 0.3—0.5米/秒
氣流狀態(tài)：垂直層流
外形尺寸： 650Χ750Χ1620mm

1．控制范圍和精度：轉(zhuǎn)速控制范圍為：500-8000轉(zhuǎn)，精度為±3%

2.時(shí)間控制范圍為：1-99秒，精度為±5%

3．轉(zhuǎn)速調(diào)整采用高精度D/A轉(zhuǎn)換，具有128級(jí)的精度調(diào)諧。

4．轉(zhuǎn)速查看智能化。（自動(dòng)識(shí)別哪個(gè)電機(jī)開或關(guān)）自動(dòng)轉(zhuǎn)換到開啟的電機(jī)上?？捎柘冗x定，也可在運(yùn)行中隨時(shí)查看任一電機(jī)的轉(zhuǎn)速。

5．采用*的I2C總線技術(shù)和E2PRAM數(shù)字存儲(chǔ)器，可預(yù)存10組工藝參數(shù)（勻膠機(jī)A型機(jī)可予存10個(gè)延時(shí)時(shí)間，40個(gè)電機(jī)轉(zhuǎn)速參數(shù)。B型機(jī)可予存20個(gè)時(shí)間參數(shù)，80個(gè)轉(zhuǎn)速參數(shù)；顯影機(jī)可保存9個(gè)慢啟動(dòng)參數(shù)，30個(gè)時(shí)間，30個(gè)轉(zhuǎn)速參數(shù)）。保存的參數(shù)掉電10年不丟失。調(diào)整后的參數(shù)自動(dòng)保存，簡(jiǎn)化了操作。

6．具有全自動(dòng)智能控制功能，當(dāng)使用全自動(dòng)方式時(shí)只需放好工件，然后按一下ATART（開始）鍵，吸盤自動(dòng)打開，定時(shí)工作完成后延時(shí)6秒電機(jī)停穩(wěn)后自動(dòng)關(guān)閉吸盤，喇叭鳴三聲，提示完成工作。大大的提高了工作效率。

7．定時(shí)的時(shí)間和轉(zhuǎn)速的測(cè)量全部由軟件控制，定時(shí)部分采用倒計(jì)時(shí)的方式顯示，轉(zhuǎn)速測(cè)量部分直接顯示被測(cè)電機(jī)的每分鐘轉(zhuǎn)數(shù)。調(diào)整部分由軟件和D/A轉(zhuǎn)換器控制，去掉了原使用CMOS電路采用的撥盤開關(guān)和機(jī)械電位器的機(jī)械觸點(diǎn)。在原基礎(chǔ)上增加了全自動(dòng)功能，減少了操作程序，避免了頻繁的開關(guān)面板上的按鍵開關(guān)，大大的降低了按鍵開關(guān)因頻繁使用而損壞。提高了整機(jī)的可靠性和使用壽命。調(diào)整，啟動(dòng)，切換，停止，并有提示音。

關(guān)鍵詞：勻膠顯影機(jī) 顯影機(jī) 轉(zhuǎn)換器電位器按鍵開關(guān)