這款紫外曝光機(jī)非常適合對(duì)紫外光敏感層曝光處理,是理想的紫外掩膜曝光機(jī)系統(tǒng)和掩膜對(duì)準(zhǔn)機(jī),mask aligner.紫外曝光機(jī)廣泛用于光學(xué),生物,微納科技,光刻等領(lǐng)域需要1-2掩膜的應(yīng)用。
紫外掩曝光機(jī)特點(diǎn)
1)的單色曝光,曝光帶寬小于10nm;
2)冷紫外曝光,襯底環(huán)境溫度實(shí)時(shí)控制,從而實(shí)現(xiàn)均勻曝光,消除熱效應(yīng);
3)的功率密度
4) 紫外LED壽命更長(zhǎng),高達(dá)10000小時(shí);
5)方便用戶使用的觸摸屏配置;
6) 不需要預(yù)熱;
7)計(jì)算機(jī)控制紫外光源強(qiáng)度調(diào)節(jié);
8)自動(dòng)晶圓裝載和卸載功能;
9)超低能耗;
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紫外掩曝光機(jī)參數(shù)
分辨率:2微米
發(fā)射光譜:365+/-5nm, 385+/-5nm
4英寸晶圓照明: 25mW/cm^2 +/-10%
暴曬時(shí)晶圓溫度加熱:<1攝氏度
暴曬循環(huán):1秒~18小時(shí)
記憶的曝光循環(huán)數(shù): 10個(gè)
功率:180W
重量:8.2kg
尺寸: 260x260x260mm^2
電源: 110V/230v50Hz
孚光精儀公司品牌源于早期的東歐地區(qū)和德國(guó)進(jìn)口光學(xué)材料和儀器的進(jìn)口服務(wù)。公司創(chuàng)始股東們足跡遍布捷克,愛(ài)沙尼亞,羅馬尼亞,白俄羅斯,立陶宛,法國(guó),英國(guó),意大利,奧地利,丹麥,比利時(shí),以及德國(guó) 漢堡,法蘭克福,柏林,慕尼黑,紐倫堡,德累斯頓等科技強(qiáng)國(guó)和強(qiáng)市,對(duì)整個(gè)歐洲特別是東歐和德國(guó)的技術(shù)產(chǎn)品和精密儀器的質(zhì)量有可靠的把握。長(zhǎng)期以來(lái),德國(guó)在科學(xué)研究、技術(shù)創(chuàng)新和儀器研發(fā)領(lǐng)域具有的優(yōu)勢(shì)。德國(guó)的科學(xué)儀器以技術(shù)*,質(zhì)量可靠而著稱。孚光精儀早期專注于選擇德國(guó)和東歐國(guó)家可靠的供應(yīng)商,為用戶提供了道質(zhì)量保障。公司派送員工前往原廠進(jìn)行技術(shù)培訓(xùn),從而具備為遠(yuǎn)東地區(qū)用戶提供快速高效的技術(shù)服務(wù)能力,這一舉措深得用戶和制造商的高度贊譽(yù)。因此,孚光精儀的事業(yè)在服務(wù)客戶的同時(shí)獲得超常發(fā)展,快速成長(zhǎng)為*儀器的規(guī)模型供應(yīng)商和技術(shù)服務(wù)商。目前,孚光精儀已經(jīng)把產(chǎn)品原產(chǎn)地?cái)U(kuò)展到整個(gè)歐洲和美國(guó),形成了以歐洲和美國(guó)為供貨來(lái)源地的良好局面。
紫外曝光機(jī) 產(chǎn)品信息
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