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整體疊層布局，結(jié)構(gòu)緊湊，節(jié)省機(jī)臺(tái)占地空間；勻膠、顯影每層2個(gè)單元，烘烤熱處理單元采用4列布置方式，與工藝單元相對(duì)稱，每列放置單元數(shù)可達(dá)5個(gè)，且各單元有獨(dú)立排風(fēng)系統(tǒng)，保證工藝精度及穩(wěn)定性。設(shè)備布局分上中下三層，有效做到氣、液、電分別布置，提高機(jī)臺(tái)安全性、穩(wěn)定性。Spin電機(jī)及法蘭有溫控結(jié)構(gòu)，避免熱量傳至Wafer表面；勻膠單元有高精度計(jì)量泵及光阻回吸閥，節(jié)約光刻膠用量；立排風(fēng)、送風(fēng)系統(tǒng)，并有風(fēng)速、排風(fēng)數(shù)字監(jiān)控功能；主軸電機(jī)的轉(zhuǎn)速、加速度可精確控；Cup風(fēng)流經(jīng)過流體仿真優(yōu)化驗(yàn)證 晶片尺寸
8-12英寸，圓形及方形基片，光刻膠旋涂及顯影工藝
主要技術(shù)參數(shù)
1、晶片尺寸： 8-12英寸
2、上下料方式： 高效機(jī)械手自動(dòng)傳送
3、離心機(jī)轉(zhuǎn)速
額定轉(zhuǎn)速： 3000 rpm
轉(zhuǎn)速： 6000
加速度： 30000rpm/s
最小調(diào)整量： 1rpm
轉(zhuǎn)速精度： ±1rpm（50 rpm～6000 rpm）
4、吸盤(Chuck)
夾持方式： 真空吸附
吸盤真空檢測(cè)： 數(shù)顯真空壓力傳感器
5、 排風(fēng)定期清洗： duct clean功能
6、PR nozzle： 直徑1.2mm 每路膠嘴可單獨(dú)保濕清洗
7、顯影噴嘴： LD nozzle H nozzle GP nozzle可選
8、熱處理單元： 熱板HHP/LHP/AD單元（max.350℃） 6個(gè)，冷板CP單元2個(gè)，根據(jù)工藝制程不同可靈活選配
9、光刻膠供應(yīng)： 采用高精度氣動(dòng)/電動(dòng)計(jì)量泵
10、顯影液供應(yīng)： 采用N2加壓
11、化學(xué)液恒溫 ： 水浴恒溫 23±0.1℃
12、滴膠精度： ±0.1ml ；滴膠范圍：0.6-3ml
13、WEE 邊緣曝光： 可選配
14、恒溫恒濕控制： 精密溫濕度控制器 （THC）
應(yīng)用行業(yè)
廣泛服務(wù)于MEMS、OLED、光通信、Saw、*封裝、科研等領(lǐng)域。
寧波潤(rùn)華全芯微電子設(shè)備有限公司(ALLSEMI)，簡(jiǎn)稱ASI，位于文化底蘊(yùn)豐厚、風(fēng)景秀麗、交通便利的寧波余姚市，在北京、武漢和廈門設(shè)有*分支機(jī)構(gòu)。
公司匯聚了一批高素質(zhì)專業(yè)人才，致力于民族半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的振興，專注于新型電子器件生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)、設(shè)計(jì)、銷售及售后服務(wù)。全芯公司與中國(guó)臺(tái)灣、韓國(guó)多家公司合作，可提供整線設(shè)備解決方案和電子科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)咨詢服務(wù)。
公司通過ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證，秉承“專業(yè)、誠(chéng)信、創(chuàng)新、共贏”的經(jīng)營(yíng)理念廣泛服務(wù)于化合物半導(dǎo)體、LED、SAW、 OLED、光通訊、MEMS、*封裝等新型電子器件制造領(lǐng)域， 配備了快速響應(yīng)的銷售和技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)。
寧波潤(rùn)華全芯微電子設(shè)備有限公司將以*可靠的產(chǎn)品，優(yōu)質(zhì)的服務(wù)贏得客戶信賴，成為一家具有國(guó)際影響力的半導(dǎo)體裝備及工藝解決方案提供商。
顯影機(jī)
全自動(dòng)8/12寸勻膠顯影機(jī) 產(chǎn)品信息
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