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高產(chǎn)能機臺結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，布局采用的分體式結(jié)構(gòu)，高速機器人在工藝單元間傳遞，同時工藝單元中采用共用擺臂結(jié)構(gòu)，使單元結(jié)構(gòu)尺寸大幅減小，單元配置更加靈活；另外機臺采用了目前的軟件平臺調(diào)度功能，可以充分發(fā)揮機器人的利用率，減少機器人與各工位的等待時間，全新的軟件操作界面，使操作員更方便直觀的使用，大大提高工作效率，減少失誤率。機臺產(chǎn)能可達280WPH。 晶片尺寸
2-6寸
技術(shù)參數(shù)
1、晶片尺寸： 2-6英寸
2、上下料方式： 高效機械手自動傳送
3、離心機轉(zhuǎn)速
額定轉(zhuǎn)速： 6000 rpm
最小調(diào)整量： 1rpm
轉(zhuǎn)速精度： ±2rpm（50 rpm～6000 rpm）
4、吸盤(Chuck)
夾持方式： 真空吸附
吸盤真空檢測： 數(shù)顯真空壓力傳感器
5、 收集杯材質(zhì)(CUP)： PP，氣液分離排放
6、 CUP自動清洗功能： 有
7、 電機漏液防護功能： 有
8、 光刻膠/顯影液過濾： 有，0.1um/0.2um可選
9、 熱處理單元： 熱板HP單元（max.180℃）10個，冷板CP單元2個，根據(jù)工藝制程不同可靈活選配
10、光刻膠供應(yīng)： 采用高精度氣動/電動計量泵
11、顯影液供應(yīng)： 采用N2加壓
12、滴膠精度： ±0.1ml ；滴膠范圍：0.6-3ml
13、工作方式： 自動供膠，自動顯影，自動取送片
14、產(chǎn)能： 280WPH
應(yīng)用行業(yè)
廣泛服務(wù)于半導(dǎo)體、LED、分立器件、功率器件等領(lǐng)域
寧波潤華全芯微電子設(shè)備有限公司(ALLSEMI)，簡稱ASI，位于文化底蘊豐厚、風景秀麗、交通便利的寧波余姚市，在北京、武漢和廈門設(shè)有*分支機構(gòu)。
公司匯聚了一批高素質(zhì)專業(yè)人才，致力于民族半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的振興，專注于新型電子器件生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)、設(shè)計、銷售及售后服務(wù)。全芯公司與中國臺灣、韓國多家公司合作，可提供整線設(shè)備解決方案和電子科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)咨詢服務(wù)。
公司通過ISO9001質(zhì)量體系認證，秉承“專業(yè)、誠信、創(chuàng)新、共贏”的經(jīng)營理念廣泛服務(wù)于化合物半導(dǎo)體、LED、SAW、 OLED、光通訊、MEMS、*封裝等新型電子器件制造領(lǐng)域， 配備了快速響應(yīng)的銷售和技術(shù)服務(wù)團隊。
寧波潤華全芯微電子設(shè)備有限公司將以*可靠的產(chǎn)品，優(yōu)質(zhì)的服務(wù)贏得客戶信賴，成為一家具有國際影響力的半導(dǎo)體裝備及工藝解決方案提供商。
顯影機
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