OAI是業(yè)內(nèi)生產(chǎn)可靠并精密設備的MEMS,半導體,納米技術,潔凈室自動化和紫外線光測量的制造商。 OAI系統(tǒng)可同時用于研發(fā)和生產(chǎn)半導體,MEMS和微流體裝置。從光罩對準和UV光源UV電力儀表,OAI是在同行業(yè)中的者超過40年。
OAI Series 6000 生產(chǎn)型曝光機
| 全面的曝光系統(tǒng) ● 0.5μ 精確正面對準 |
OAI在MEMS和微流體裝置方面的產(chǎn)品主要包括 :