產品簡介
對于失效分析、質量控制和材料表征而言、Q25是、的高分辨成像和分析應用的解決方案。在設計上側重易用性、Q25可以讓用戶迅速得到他們所需的數(shù)據(jù)。
為應對不導電樣品、Q25提供了低真空模式下的高性能、消除了對專用的樣品制備步驟或者附加的樣品鍍膜儀的需求。Q25樣品室的設計和真空系統(tǒng)能夠快速更換樣品、允許日常高效、快速檢測樣品。
為滿足客戶對大樣品或塊狀樣品的要求、Q45提供了更大的真空樣品室和100mm的樣品臺行程。另外、Q45加上了環(huán)境掃描(ESEM)模式、擴展了SEM的成像和分析功能到加熱、含水或放氣的樣品。
? 簡單易用,即使是新手利用直觀的軟件可實現(xiàn)高效操作。
? 利用穩(wěn)定的高束流(上至2 μA)電子束可以迅速獲得精確的分析結果。
?快速輕松表征導電和非導電樣品
? 支持可選的分析功能。利用的多級穿過透鏡的真空系統(tǒng)在高真空和低真空下使導電樣品和不導電樣品的精確EDS分析成為可能。
? Q45 SEM: 采用為ESEM選配的帕爾貼冷臺可在樣品的自然含水狀態(tài)下完成樣品的動態(tài)原位分析。
| 分辨率 | 加速 電壓 | 探針電流 樣品臺 | 放大率 | 試件室尺寸 |
Q25 SEM | High vacuum
Low vacuum
*optional | 200 V - 30 kV | up to 2 μA, continuously adjusted | 13 to 1000000x | 284 mm size left to right |
Q45 SEM | High vacuum
High vacuum with beam deceleration option 7.0 nm at 3 kV(BD mode* + vCD*) Low vacuum
Extended vacuum mode (ESEM) *optional | 200 V - 30 kV | up to 2 μA, continuously adjusted | 6 to 1000000x | 284 mm size left to right |