技術(shù)參數(shù):
1.分辨率:1.2nm(30kV)/3.0nm(1kV)
2.加速電壓:0.2KV-30kV
3.放大倍數(shù):10-100萬(wàn)倍
4.大束流高分辨5nA,WD10mm,15kV時(shí)分辨率3.0nm
5.束流強(qiáng)度:1pA到200nA(15KV)
主要特點(diǎn):
1.浸沒(méi)式熱場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)鲝?qiáng)度200nA(15KV)
2.無(wú)漏磁物鏡設(shè)計(jì),便于磁性樣品觀(guān)測(cè)和EBSP觀(guān)測(cè)不變形
3.自動(dòng)光闌角控制器,無(wú)需調(diào)整光闌
4.全自動(dòng)控制聚焦、合軸、消像散、控制掃描速度
5.適于配合多種分析性探頭