FE-1050系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。
● 在電子光學(xué)鏡筒的加持下,展現(xiàn)低電壓、高分辨。
● 27個(gè)端口拓展、大艙室,輕松應(yīng)對(duì)各類成像、分析需求。
● 簡(jiǎn)化操作、自動(dòng)化交互、智能化特征識(shí)別統(tǒng)計(jì),提高工作效率。
技術(shù)規(guī)格:
型號(hào) | FE-1050系列 | ||||
1.電子光學(xué)系統(tǒng) | |||||
電子qiang | Schottky 場(chǎng)發(fā)射型 | ||||
物鏡類型 | 非浸沒(méi)電磁復(fù)合透鏡 | ||||
加速電壓 | 0.02-30KV | ||||
束斑電流 | 10pA 至 30nA(100nA 選配) | ||||
放大倍數(shù) | 10x - 1,000, 000x | ||||
分辨率 | SE | 1.5nm(1KV)、0.9nm(15KV) | |||
BSE(選配) | 2.5nm(1KV)、1.5nm(15KV) | ||||
STEM | 0.8nm(30KV) | ||||
2.真空系統(tǒng) | |||||
離子泵(IGP) | 25 L/s+2X20L/s | ||||
渦輪分子泵(TMP) | 250 L/s (N2) | ||||
前級(jí)真空泵 | 15m³/h 機(jī)械泵、無(wú)油渦旋機(jī)械泵(選配) | ||||
電子qiang真空 | <1.0x10-7 Pa | ||||
主樣品室真空 | <1.0x10-4 Pa | ||||
樣品室接口數(shù) | 27 個(gè) | ||||
預(yù)抽室 | 50mm 樣品托盤自動(dòng)送樣 4/6 英寸晶圓自動(dòng)送樣(選配) | ||||
預(yù)抽室光學(xué)導(dǎo)航 | |||||
3.樣品運(yùn)動(dòng)平臺(tái) | |||||
樣品臺(tái)行程 | X | 140mm | |||
Y | 140mm | ||||
Z | 60mm | ||||
R | 連續(xù) 360° | ||||
T | -10°~80° | ||||
重復(fù)定位精度 | X/Y/Z≤1um(選配) | ||||
樣品承重 | 5kg | ||||
4.圖像處理系統(tǒng) | |||||
駐留時(shí)間 | 20ns | ||||
采集方式 | 4 通道同步采集 | ||||
圖像分辨率 | 24kx24k 像素 | ||||
5.數(shù)據(jù)處理系統(tǒng) | |||||
CPU | Intel Xeon E5 及以上處理器 | ||||
內(nèi)存 | 32G | ||||
顯卡 | 顯存≥24G,位寬≥384bit | ||||
顯示器 | 34 英寸超寬屏顯示器 | ||||
控制臺(tái) | 人體工程學(xué)可升降操控臺(tái) | ||||
6.探測(cè)器系統(tǒng) | |||||
檢測(cè)器 | In-Column SE 探測(cè)器 ET- SE 探測(cè)器 插入式 BSE 探測(cè)器(選配) STEM 探測(cè)器(選配) 紅外 CCD 主腔室監(jiān)控-3 路 | ||||
附件(選配) | 斜插式能譜儀(EDS) 平插式能譜儀(Flat-EDS) 波譜儀(WDS) 電子背散射衍射儀(EBSD) 熒光探測(cè)器(CL) 聚焦離子束(FIB) 原位拉伸加熱臺(tái)/制冷臺(tái) 冷凍轉(zhuǎn)移樣品倉(cāng)等第三方附件設(shè)備 |