產(chǎn)品簡(jiǎn)介:SKCC-YCB-X高真空磁控濺射永磁靶頭適用靶材種類較廣,如金屬/絕緣靶或磁性/非磁性靶材。配裝有環(huán)形永磁體在靶頭上,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性??膳cDC或RF電源配合使用。
產(chǎn)品型號(hào) | SKCC-YCB-X(高真空磁控濺射永磁靶頭) |
產(chǎn)品規(guī)格 | 2寸,SKCC-YCB-2 3寸,SKCC-YCB-3 4寸,SKCC-YCB-4 5寸,SKCC-YCB-5 6寸,SKCC-YCB-6 7寸,SKCC-YCB-7 |
主要特點(diǎn) | 1、采用高質(zhì)量的不銹鋼和永磁材料制作。 2、采用電磁場(chǎng)的有元計(jì)算法來(lái)設(shè)計(jì)永磁體,以得到較高的磁場(chǎng)強(qiáng)度和均勻分布。 3、的磁性材料冷卻裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),避免冷卻水腐蝕磁性材料,延長(zhǎng)其使用壽命。 4、標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭,可與DC和RF電源相匹配。 5、安裝采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭,便于操作。 6、靶材更換較為簡(jiǎn)單,無(wú)需調(diào)整濺射頭的高度。 |
配套電源 | 1、直流DC;2、射頻RF |
備注 | 2寸折靶,SKCC-YCB-2-Z 3寸折靶,SKCC-YCB-3-Z 4寸折靶,SKCC-YCB-4-Z |