產(chǎn)品簡介:PCE-22紫外臭氧清洗機(jī)是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機(jī),其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片,為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠,改善表面潤濕性,清洗SEM &TEM,紫外對聚合物改性等。 紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機(jī)化合物。
產(chǎn)品型號 | PCE-22紫外臭氧清洗機(jī) | |
主要特點 | 1、僅室內(nèi)使用; 海拔高度5500英尺以內(nèi); 2、溫度范圍:5-40℃; 3、相對濕度80%,30.5℃,40℃線性降至50%相對濕度; 4、主電源波動不超過額定電壓的10%; 5、污染等級2; 臭氧水平(環(huán)境)測量<45 ppb。 6、去除分子級別的污染物 7、紫外光固化粘合劑 8、紫外光催化 9、氧化PDMS 10、表面消毒 11、刻蝕 12、清洗MEMS 器件 13、清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片 | |
技術(shù)參數(shù) | 1、功率:350W 2、AC 208~240V,單相 50/60Hz | |
腔體&樣品臺 1、不銹鋼殼體 2、抽屜式樣品臺,以便放樣取樣 3、樣品臺面積310 mm x 320 mm 4、臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上 5、樣品臺與紫外燈的距離:20mm -40mm(可調(diào)) 6、樣品臺可以加熱,溫度可達(dá)150℃ 7、可設(shè)置20段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃ 8、設(shè)備運行時間:0.01 秒- 99.9小時 |
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排氣口 1、直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端 2、請將橡膠管與排氣口連接,將臭氧排出到實驗室外 3、儀器中不包含橡膠管 |
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紫外燈 1、可發(fā)出雙波長的水銀燈 2、功率:55W 3、發(fā)出光的波長:254 nm 和 185 nm 4、使用壽命:2500 小時(可更換) 5、照射區(qū)域:200 x 200 mm 6、可以清潔直徑為12英寸x 35毫米的晶體晶片。 |
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產(chǎn)品規(guī)格 | 1、尺寸:510mm x 350mm x 400mm (W x H x D) 2、重量:28kg |