◆ 分辨率高,成像質(zhì)量更好
◆ 翻開式發(fā)叉結(jié)構(gòu)鎢絲陰極,更換燈絲方便
◆ 純中文操作界面,具有一鍵成像功能
◆ 自動調(diào)整功能:電子槍加熱、偏壓、對中、聚焦、亮度、對比度、消像散、像散記憶等
◆ 自動校正、自動故障檢測
◆ 低維護(hù)、維修成本
項(xiàng)目 | EM6900 | EM6900Z | |
分辨率 | 3nm@30KV(SE) 6nm@30KV(BSE) | ||
放大倍數(shù) | 底片放大:6X~300000X 屏幕放大:12X~600000X | ||
電子槍類型 | 翻開式發(fā)叉結(jié)構(gòu)鎢絲陰極 | ||
加速電壓 | 0 ~ 30KV | ||
透鏡系統(tǒng) | 三級電磁透鏡(錐形物鏡) | ||
物鏡光闌 | 三個光闌可在真空外選擇調(diào)節(jié) | ||
樣品臺 | 手動 | X/Y軸自動 | |
行程 | X | 0 ~ 80mm | |
Y | 0 ~ 60mm | ||
Z | 0 ~ 50mm | ||
R | 360° | ||
T | -5° ~ 90° | ||
樣品直徑 | 175mm | ||
探測器 | CCD 背散射電子探測器,X-ray能譜儀 EBL 高低溫臺納米操作臺拉伸臺 | ||
真空系統(tǒng) | 分子泵 |
多樣化的電鏡應(yīng)用定制方案
1. 高低溫拉伸臺和微納機(jī)械手
掃描電鏡結(jié)合原位拉伸試驗(yàn)臺是一種能夠動態(tài)觀測和分析材料微觀變形形貌和斷裂機(jī)制的手段; 利用掃描電鏡的大景深、高空間分辨和分析功能,在微觀層面上對材料的力學(xué)性能進(jìn)行動態(tài)研究; 可以為多種材料做拉伸測試,如金屬材料、高分子材料、陶瓷材料等; 拉伸載荷:5000 N,可以實(shí)現(xiàn)-150 ℃~600 ℃溫度下拉伸測試。 |
掃描電鏡結(jié)合納米機(jī)械手,集合納米操作以及力學(xué)-電學(xué)性能同步測試功能于一體; 可以應(yīng)用于復(fù)雜微納米材料的原位機(jī)械力學(xué)性能測試和結(jié)構(gòu)觀察、微納米多自由度操作和精密組裝、微納米機(jī)器人及微納傳感器的力/電學(xué)分析等; 力學(xué)測量范圍從0.5 nN到200 mN,位移檢測范圍0.05 nm到21 mm。 |
2. 電子束曝光(EBL)系統(tǒng)
以掃描電子顯微鏡為基礎(chǔ),配備激光精密工件臺和圖形發(fā)生器的新型納米曝光系統(tǒng),跟商品化電子束曝光機(jī)相比價格低廉;
無需改動電子顯微鏡,保留顯微鏡的全部功能,用來制作納米級線寬的圖像,操作靈活,成本較低;
DY-2000A型納米通用圖形發(fā)生器是用于電子束曝光的關(guān)鍵設(shè)備;
該系統(tǒng)特別適用于微電子器件、量子器件、光電子器件、聲表面波器件、微電子系統(tǒng)的研究和開發(fā)。
3. 掃描電鏡與激光聯(lián)用系統(tǒng)
根據(jù)客戶定制需求,在電子槍室和樣品倉側(cè)面開口,用于激光引入;
電子槍室引入激光,照射到陰極上可產(chǎn)生光致發(fā)射電子束,用于表面成像、樣品處理等;
樣品倉引入激光到樣品表面,用于樣品激發(fā)或樣品光致改性研究。
4. 掃描電鏡與鍍膜機(jī)聯(lián)用系統(tǒng)
掃描電鏡與鍍膜系統(tǒng)聯(lián)用,真空環(huán)境內(nèi)完成樣品傳運(yùn)以及表面狀態(tài)、形貌及組成成分分析;
在線分析高活性材料表面離子濺射清洗效果及表面腐蝕的微觀過程;
本系統(tǒng)主要功能模塊包括:場發(fā)射掃描電子顯微系統(tǒng)、能譜儀、進(jìn)樣系統(tǒng),同時還可以配備多功能樣品臺。
5. 掃描電鏡與掃描隧道顯微鏡(STM)/原子力顯微鏡(AFM)聯(lián)用系統(tǒng)
利用掃描電鏡放大倍數(shù)連續(xù)可調(diào)、長工作距離、大景深、易于觀測粗糙樣品的特點(diǎn);
與STM/AFM結(jié)合,解決STM/AFM難于定位的難題;
首先使用掃描電鏡進(jìn)行選區(qū),然后控制探針到選定的微觀區(qū)域進(jìn)行細(xì)致成像;
實(shí)現(xiàn)從宏觀到微觀,從mm 范圍到nm 范圍,從粗造表面到光滑表面的直接觀察;
6. 電子束焊機(jī)圖像系統(tǒng)
巧妙地利用焊機(jī)已有的一些部件,基于背散射電子成像,實(shí)現(xiàn)圖像功能;
數(shù)字化的圖像可以定位焊縫的位置,為跟蹤焊接軌跡,調(diào)整焊接參數(shù)提供了條件,
大大改善焊接過程和焊縫質(zhì)量;
這套圖像系統(tǒng)既可以用于配套生產(chǎn)新型的電子束焊機(jī),也可以用于升級改造舊的電子束焊機(jī)。
軟件功能介紹
KYKY-SEM電鏡操作軟件純中文操作界面,模塊化布局。在滿足基本電鏡的操作功能外還具有一鍵看像,多點(diǎn)尺寸測量,電鏡圖片文字標(biāo)注,真空圖顯示,CCD窗口顯示等強(qiáng)大的輔助功能,滿足不同用戶的個性化需求。
圖像處理軟件
場槍圖片示例
行業(yè)應(yīng)用
電池材料
復(fù)合、高分子材料
動植物、微生物
粉末冶金材料
礦物
金屬行業(yè)
纖維
建筑材料
化工材料
陶瓷材料
膜行業(yè)
客戶定制:樣品預(yù)處理系統(tǒng)、樣品傳輸系統(tǒng)、特型樣品室、電子束曝光系統(tǒng)(EBL)、分子束外延生長系統(tǒng)(MBE)、MICRO-CT、原位拉伸臺、高低溫樣品臺、微納操作、三束加工設(shè)備、拉曼聯(lián)用、薄膜在線顯微分析等技術(shù)模塊及綜合功能測試平臺。