電阻率：

電阻率是半導(dǎo)體材料最重要的特性參數(shù)之一，通過對其測量，可以掌握樣品中雜質(zhì)濃度的分布情況。因此，在半導(dǎo)體工業(yè)中，必須快速、準(zhǔn)確地對硅晶圓片電阻率進(jìn)行測量和分檔。 本文首先詳細(xì)分析了四探針電阻率測試原理，在比較了幾種測試方法的基礎(chǔ)上，確立了矩形四探針法，與國內(nèi)廠家現(xiàn)在普遍采用的直線四探針法相比，用矩形四探針法可以獲得更小的測量微區(qū)，而且其游移偏差也小于直線四探針測量所產(chǎn)生的偏差。 在此基礎(chǔ)之上，將直流四探針測試方法與嵌入式系統(tǒng)相結(jié)合，設(shè)計(jì)出數(shù)字化智能四探針電阻率測試儀，詳細(xì)說明了各部分電路的組成及功能，以及相應(yīng)的軟件設(shè)計(jì)。該系統(tǒng)依據(jù)直流四探針法原理，采用由16位單片機(jī)MSP430控制的高穩(wěn)定度可編程恒流源電路和低溫漂、低噪聲可編程放大器電路，以及自動量程轉(zhuǎn)換電路等部分構(gòu)成測量回路，使得該儀器能夠自動識別待測樣品的電阻率，并根據(jù)電阻率大小自動切換量程，既可以獨(dú)立工作，又可以通過RS-232接口與PC機(jī)通信，大大提高了該測試儀的數(shù)據(jù)處理能力和測量精度，而且操作十分方便高效。該測試儀有較高的實(shí)用價值和發(fā)展前景。

概述：

絕緣材料體積電阻率試驗(yàn)儀（廠家）既可測量高電阻，又可測微電流。采用了美國In公司的大規(guī)模集成電路,使儀器體積小、重量輕、準(zhǔn)確度高。以雙3.1/2 位數(shù)字直接顯示電阻的高阻計(jì)和電流。量限從1×104Ω ～1×1018 Ω，是目前國內(nèi)測量范圍zui寬，準(zhǔn)確度zui高的數(shù)字超高阻測量儀。電流測量范圍為2×10-4 ～1×10-16Ａ。機(jī)內(nèi)測試電壓為10/50/100/250/500/1000V任意可調(diào)。絕緣材料的體積電阻率和表面電阻率測試儀具有精度高、顯示迅速、性好穩(wěn)定、讀數(shù)方便， 適用于防靜電產(chǎn)品如防靜電鞋、防靜電塑料橡膠制品、計(jì)算機(jī)房防靜電活動地板等電阻值的檢驗(yàn)以及絕緣材料和電子電器產(chǎn)品的絕緣電阻測量。除能測電阻外，還能直接測量微弱電流。

高阻計(jì)法測定高分子材料體積電阻率和表面電阻率

高分子材料的電學(xué)性能是指在外加電場作用下材料所表現(xiàn)出來的介電性能、導(dǎo)電性能、電擊穿性質(zhì)以及與其他材料接觸、摩擦?xí)r所引起的表面靜電性質(zhì)等。最基本的是電導(dǎo)性能和介電性能，前者包括電導(dǎo)(電導(dǎo)率γ，電阻率ρ=1/γ)和電氣強(qiáng)度(擊穿強(qiáng)度Eb)；后者包括極化(介電常數(shù)εr)和介質(zhì)損耗(損耗因數(shù)tgδ)。共四個基本參數(shù)。

種類繁多的高分子材料的電學(xué)性能是豐富多彩的。就導(dǎo)電性而言，高分子材料可以是絕緣體、半導(dǎo)體和導(dǎo)體，如表1所示。多數(shù)聚合物材料具有電絕緣性能，其電阻率高、介電損耗小，電擊穿強(qiáng)度高，加之又具有良好的力學(xué)性能、耐化學(xué)腐蝕性及易成型加工性能，使它比其他絕緣材料具有更大實(shí)用價值，已成為電氣工業(yè)的材料。高分子絕緣材料必須具有足夠的絕緣電阻。絕緣電阻決定于體積電阻與表面電阻。由于溫度、濕度對體積電阻率和表面電阻率有很大影響，為滿足工作條件下對絕緣電阻的要求，必須知道體積電阻率與表面電阻率隨溫度、濕度的變化。

表1  各種材料的電阻率范圍

除了控制材料的質(zhì)量外，測量材料的體積電阻率還可用來考核材料的均勻性、檢測影響材料電性能的微量雜質(zhì)的存在。當(dāng)有可以利用的相關(guān)數(shù)據(jù)時，絕緣電阻或電阻率的測量可以用來指示絕緣材料在其他方面的性能，例如介質(zhì)擊穿、損耗因數(shù)、含濕量、固化程度、老化等。表2為高分子材料的電學(xué)性能及其研究的意義。

表2  高分子材料的電學(xué)性能及測量的意義

絕緣材料體積電阻率試驗(yàn)儀（廠家）參數(shù)配置：