Prisma E SEM是一款高度靈活的掃描電子顯微鏡 (SEM),在各種條件下都能有出色的性能。基于其低真空和環(huán)境真空 (ESEM)模式,它具備分析不導(dǎo)電、含氣、含水或其它非常規(guī)測試的樣品。Prisma E SEM的高度靈活性、便捷使用性以及對樣品的寬泛適用性,是多用戶實驗室的理想選擇。
發(fā)射源:鎢燈絲(高性能電子光學(xué)鏡筒,雙陽極熱發(fā)射電子槍)
分辨率:
高真空成像 3.0nm@ 30kV(SE);8.0 nm@ 3kV(SE)
低真空成像 3.0nm@ 30kV(SE);4.0 nm@ 3kV(BSE);10nm@ 3kV(SE)
環(huán)境掃描模式成像 3.0nm@ 30kV(SE)
放大倍數(shù):5 ~ 1,000,000×(寶麗來相紙放大)
加速電壓范圍:200V ~ 30kV
探針電流范圍:可達到2μA,連續(xù)可調(diào);
低真空范圍:高達130Pa;
ESEM真空范圍:高達2600Pa(H2O)/4000Pa(N2);
X-Ray工作距離:10mm,EDS檢出角35°
樣品室:從左至右為340mm寬的大存儲空間,樣品室可拓展接口數(shù)量12個,含能譜儀接口3個(其中2個處于180°對角位置)
樣品臺:五軸優(yōu)中心全自動馬達驅(qū)動
X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm,T=-15o~90o,R=360o (連續(xù)旋轉(zhuǎn))
多用途SEM樣品安裝載物臺,可同時放置 18 個標(biāo)準樣品座(φ12mm)
樣品高度不低于200mm
樣品承重 5 kg
探測器系統(tǒng):
高真空二次電子探測器ETD
樣品室內(nèi)IR紅外相機CCD
低真空二次電子探測器LVD
氣體二次電子探測器GSED(環(huán)境真空)
控制系統(tǒng):
操作系統(tǒng):Windows 10
圖像顯示:24寸LCD顯示器,顯示分辨率1920×1200
支持用戶自定義的GUI,可同時實時顯示四幅圖像
軟件支持Undo和Redo功能
☆ 方便快捷地加載多種樣品和重樣品;
☆ 基于Thermo ScientificTM Nav-CamTM相機和蒙太奇導(dǎo)航功能簡化樣品導(dǎo)航;☆ 便捷性的用戶指南和撤消功能;
☆ *的掃描模式和電子束減速確保的圖像質(zhì)量;
☆ Thermo ScientificTM ColorSEMTM技術(shù)下進行直觀的元素分析;
☆ 專用真空模式,具備強大的樣品兼容性;
☆ 的環(huán)境掃描模式能夠在材料的自然狀態(tài)下成像;
☆ 可集成冷/熱臺進行易于控制的動態(tài)實驗;
☆ 廣泛選擇的探測器和附件,包括掃描透射電 (STEM)、陰極發(fā)光、圖像拼接等