用于測量精密零件的表面平面度。
功能特色
·非接觸式測量
·自主設置測量路徑,適用范圍廣
·測量結果3D/2D顯示,形象直觀
系統(tǒng)參數(shù)
·測量范圍:200mm*200mm
·精度:3μm
·測量速度:20s/片
·采樣頻率:200次/s
TTV測量系統(tǒng)
用于測量手機玻璃,藍寶石等產(chǎn)品的平面度,厚度,TTV,LTV。
系統(tǒng)參數(shù)
精度:平面度10μm,厚度:0.4μm,TTV:1μm,測量速度:與測量路徑有關,8"wafer約20s/片
TTV/WARP測量系統(tǒng)
用于測量硅片,藍寶石,手機玻璃以及各種襯底的TTV、Thickness、Warp、Sori、Bow、LTV。
系統(tǒng)介紹
系統(tǒng)采用上下同軸色散共焦傳感器,支持大部分材質(zhì)的wafer厚度平整度量,相比較于電容或電渦流位移傳感器,色散共焦位移傳感器精度更高。
模具監(jiān)視器
用于注塑、焊接、鑄造過程中對設備關鍵部位的保護以及對產(chǎn)品瑕疵的監(jiān)測。
模具監(jiān)視器,對特定部位進行成像,在每個生產(chǎn)周期結束時對特定部位再次成像,通過對前后兩副圖象的變
化來判斷是否進入下一個生產(chǎn)周期。
全自動影像檢測系統(tǒng)
一鍵式影像測量儀,用于測量各種零件尺寸。
功能特色
一鍵式是指僅需要按一個按鍵就可以將一個產(chǎn)品中所需要測量的尺寸全部測量出來。適用于批量產(chǎn)品的尺寸測量。
系統(tǒng)特點
·一鍵式測量,操作簡易·支持多種類型檢測,包括直徑、線間距、角度、弧度等
·支持各種零件尺寸檢測,對零件種類無要求
·支持同時檢測多個部位
·支持寸檢測精度為±3μm,重復檢測精度為±0.3μm
·支持零件匹配與定位,對擺放角度和位置無要求