晶圓和膠膜快速黏合時(shí)不產(chǎn)生氣泡
粘輥內(nèi)置自動(dòng)平衡機(jī)構(gòu)
內(nèi)置圓周切割器
內(nèi)置水平切割器
內(nèi)置分離器卷繞機(jī)構(gòu)
可自定義
規(guī)格
< 切割用途 >
型號(hào) | 晶片尺寸 | 設(shè)備尺寸:(WxDxH)(mm) |
---|---|---|
FM-2243 | 12英寸 | 510mm(W) x 860mm(D) x 330mm(H) |
FM-2248 | 8英寸 | 455mm(W) x 780mm(D) x 300mm(H) |
FM-2246 | 6英寸 | 375mm(W) x 760mm(D) x 230mm(H) |
< 研削用途 >
型號(hào) | 晶片尺寸 | 研削/BG用途 |
---|---|---|
FM-2243-BG | 12英寸 | 510mm(W) x 860mm(D) x 330mm(H) |
FM-2248-BG | 8英寸 | 455mm(W) x 780mm(D) x 300mm(H) |
FM-2246-BG | 6英寸 | 375mm(W) x 760mm(D) x 230mm(H) |
特點(diǎn)
1 能瞬間氣泡自由粘貼。
2 粘輥內(nèi)置自動(dòng)平衡機(jī)構(gòu)
3 內(nèi)置圓周切割器。
4 內(nèi)置水平切割器。
5 內(nèi)置分離器卷繞機(jī)構(gòu)。
6 可自定義
選項(xiàng)

卡盤臺(tái)加熱器
用途
< 切割用途 >
FM-224系列
< 研削用途 >
FM-224-BG系列
< 其他 >
可為其他應(yīng)用程序定制(DAF應(yīng)用程序、DFR應(yīng)用程序等)