SS300大型鎢燈絲掃描電鏡是一款高性能鎢燈絲掃描電鏡，采用全自動(dòng)樣品臺(tái)，配備倉(cāng)內(nèi)紅外CCD攝像頭，有效監(jiān)控倉(cāng)內(nèi)樣品，防止樣品與極靴碰撞。

分辨率：3nm (30kV,SE); 5nm(10kV,SE); 8nm(3kV,SE); 4nm(30kV,BSE)

放大倍數(shù)：4x ～ 300,000x，連續(xù)可調(diào)

加速電壓：0~30kV ，連續(xù)可調(diào)

檢測(cè)器：二次電子圖像(SE) ，背散射檢測(cè)器(BSE)，紅外CCD攝像頭

電子槍：翻開式預(yù)對(duì)中鎢燈絲，探針束流范圍：1pA~2000nA，帶束流測(cè)量功能

透鏡系統(tǒng)：多級(jí)高性能錐形透鏡系統(tǒng)

擴(kuò)展接口：樣品室提供不少于6個(gè)可擴(kuò)展接口，可外接各類附件和探測(cè)器（例如EDS/EBSD/EBIC/CL等）

樣品臺(tái)：五軸全自動(dòng)樣品臺(tái)同，配備氣浮減震系統(tǒng)；承重2kg

樣品臺(tái)行程：X=70mm,Y=50mm,Z=50mm，R=360°, T=-10°～+70°

樣品尺寸： 220mm(Diameter) / 50mm(Height)

軟件控制：可自動(dòng)對(duì)焦、對(duì)中、消像散，圖像測(cè)距功能，添加尺寸、標(biāo)注，計(jì)算周長(zhǎng)、面積，標(biāo)注箭頭、角度等

圖像存儲(chǔ)格式：BMP, JPEG, PNG, TIFF

真空系統(tǒng)：渦輪分子泵+機(jī)械泵；樣品室真空度優(yōu)于6E-4 Pa，含真空測(cè)量與顯示設(shè)備，全自動(dòng)真空控制，抽真空時(shí)間小于5分鐘

操控系統(tǒng)： DELL工作站，其配置不低于：5 四核3.2GHz，HD顯卡530；DDR4 8G內(nèi)存；24"液晶顯示器；500G高速硬盤；光電鼠標(biāo)，鍵盤，軌跡球

尺寸：電子光學(xué)鏡筒部分： 800×800×1850(mm)
電器柜控制部分： 1340×850×740(mm)

安裝環(huán)境: 溫度15℃~30℃，濕度，小于75%

電源， 200~240V AC, 1KW, 50/60Hz

能譜儀參數(shù)：

品牌型號(hào)：Oxford 30

大面積電制冷能譜儀1臺(tái)

該能譜儀為分析型SDD硅漂移電制冷探測(cè)器，具有50mm²晶體面積，30mm²有效面積，高分子超薄窗設(shè)計(jì)，無(wú)需液氮冷卻，僅消耗電能。

能量分辨率：Mn_Ka處優(yōu)于129eV，符合ISO 15632:2012標(biāo)準(zhǔn)

元素分析范圍: B5～Cf98

具備零峰修正功能，可以快速穩(wěn)定譜峰，開機(jī)后無(wú)需重新修正峰位。

元素面分布圖分辨率達(dá)4096*4096像素；可從面分布圖上進(jìn)行譜圖重建。

離子濺射儀參數(shù)：

濺射方式：磁控濺射

可選靶材金、鉑、金鈀合金、銀鉛、銅、鉻、銻等

彩色液晶屏顯示，屏幕不小于5英寸；

濺射電流不小于30mA，最小濺射電流不大于3mA，步進(jìn)量為1mA;

最長(zhǎng)濺射時(shí)間不小于900秒；

具備電流保護(hù)和真空保護(hù)功能，在電流過(guò)大、真空度較差時(shí)保證設(shè)備安全；

極限真空優(yōu)于1Pa；

真空室采用高硅片玻璃φ128×100mm；

可實(shí)時(shí)顯示靶材使用時(shí)間和設(shè)備工作時(shí)間；

可用實(shí)時(shí)曲線顯示濺射電流和真空度。

附件：

配備預(yù)對(duì)中鎢燈絲10根，

  雙面導(dǎo)電膠3卷，  

樣品臺(tái)20個(gè)，

真空脂1盒，

拋光膏1管，

機(jī)械泵油1桶；

附贈(zèng)電鏡專用工具箱1個(gè)，含鑷子、六角扳手、一字改錐、墊片等專業(yè)工具用于掃描電鏡的安裝和維護(hù)。