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AL120系列8寸晶圓檢測(cè)系統(tǒng)

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參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱南京諾旭微光電有限公司
品牌
型號(hào)
所在地南京市
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2023/2/24 14:44:10
訪問次數(shù)226

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

南京諾旭微光電有限公司自2009 年6 月成立以來，10多年來專注于中光學(xué)儀器的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)。公司有多年的光學(xué)市場(chǎng)銷售經(jīng)驗(yàn)和專業(yè)的服務(wù)團(tuán)隊(duì)。特別是在FPD平板顯示及半導(dǎo)體行業(yè)有著非常成熟的配套解決方案，能為客戶提供合理、適用的顯微光學(xué)檢測(cè)方案。我公司同時(shí)擁有專業(yè)的光學(xué)設(shè)計(jì)師和經(jīng)驗(yàn)豐富的維修工程師，有著完善的售后服務(wù)體系、能為客戶提供更多快捷、方便、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。公司主要產(chǎn)品有: 各種光學(xué)顯微鏡（測(cè)量顯微鏡、金相顯微鏡、視頻顯微鏡、體視顯微鏡），數(shù)碼顯微鏡，2D影像測(cè)量?jī)x，一鍵測(cè)量?jī)x，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，3D共聚焦顯微鏡，掃描電鏡，高速相機(jī)，內(nèi)窺鏡，接觸角測(cè)量?jī)x，等離子清洗設(shè)備，特殊顯微鏡改造，顯微鏡配件，視覺 CCD 鏡頭及LED 光源等相關(guān)儀器。主要服務(wù)于半導(dǎo)體、液晶面板、探針臺(tái)、MEMS、精密刀具、精密加工、金屬材料、光纖通訊、生命科學(xué)、高校、研究所等行業(yè)所涉及的顯微檢查、測(cè)量、分析。經(jīng)營(yíng)理念：品質(zhì)、服務(wù)、價(jià)值、共贏

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AL120系列8寸晶圓檢測(cè)系統(tǒng)/硅片搬送機(jī)AL120精密的靈活性傳輸各種尺寸的硅片基于硅片的尺寸，AL120系列有3種基本機(jī)型，單200mm（AL120-L8）、150mm和200mm兼容（AL120-L86）、單150mm或以下尺寸（AL120-L6）

AL120系列8寸晶圓檢測(cè)系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

AL120系列8寸晶圓檢測(cè)系統(tǒng)/硅片搬送機(jī) AL120

精密的靈活性

傳輸各種尺寸的硅片

基于硅片的尺寸，AL120系列有3種基本機(jī)型，單200mm（AL120-L8）、150mm和200mm兼容（AL120-L86）、單150mm或以下尺寸（AL120-L6）。每一款都是為了傳輸硅片已經(jīng)進(jìn)行顯微鏡檢查而設(shè)計(jì)。正面宏觀和背面宏觀檢查均可適用與各種尺寸的硅片。

可以傳輸超薄的硅片，到90um

為了應(yīng)對(duì)更具有挑戰(zhàn)性的超薄硅片，奧林巴斯特殊設(shè)計(jì)了傳輸手臂，可以應(yīng)對(duì)25片裝的200mm的片盒以及到90um的硅片，并完成安全傳輸和顯微鏡檢查?？赏ㄟ^面板最多可預(yù)設(shè)10種不同厚度的硅片信息。

精密的能力

增強(qiáng)宏觀檢查的功能

款的具備宏觀檢查功能的機(jī)臺(tái)（LMB型）具有360度自動(dòng)旋轉(zhuǎn)而完成硅片的全面宏觀檢查。這一設(shè)計(jì)可以方便的發(fā)現(xiàn)硅片正反面上的缺陷和顆粒。另外，可以通過使用搖桿將硅片傾斜30度進(jìn)行宏觀檢查。

LCD顯示屏提供精度和操作方便性

LCD顯示屏提供給操作者更直觀的視覺感受，使得檢查項(xiàng)目和次序一清二楚，以及安裝調(diào)試所需要設(shè)置的參數(shù)也一目了然。檢查結(jié)果、包括操作者輸入的宏觀和微觀的缺陷記號(hào)一并可以顯示在LCD顯示屏上，方便操作者的回顧。

精密的可靠性

對(duì)于硅片的安全性

AL120采用的兩種硅片檢測(cè)方式：硅片的厚度以及在片盒中的位置。傳輸前先掃描硅片在片盒中的位置。選購的載物臺(tái)自動(dòng)鎖死功能提高了硅片傳輸?shù)秸婵蛰d物臺(tái)的安全性。

強(qiáng)大和可靠的顯微鏡

奧林巴斯半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61通過不同的觀察方式：明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉、紅外和深紫外，都可以呈現(xiàn)出高清晰度和高解析的圖像。配備電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤，與顯微鏡主機(jī)的孔徑光瀾具有聯(lián)動(dòng)功能，每一次物鏡的切換，孔徑光瀾也會(huì)自動(dòng)變換。

SEMI S2/S8 和RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

AL120設(shè)計(jì)不單只重視傳輸中的硅片的安全，也保證操作者的安全，符合SEMI的S2和S8標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)也滿足了Rohs標(biāo)準(zhǔn)。