全自主開(kāi)發(fā)集成電路裝備領(lǐng)域產(chǎn)品:
u硅片自動(dòng)化傳輸裝備(Sorter): 自主開(kāi)發(fā)、客戶(hù)定制化
u設(shè)備機(jī)械前端(EFEM): 自主開(kāi)發(fā)、客戶(hù)定制化
u機(jī)械手(Robot): 自主開(kāi)發(fā)、大氣&真空
u對(duì)準(zhǔn)器(Aligner): 自主開(kāi)發(fā)
u載盒臺(tái)(Load Port): 自主開(kāi)發(fā)
u核心傳感模塊(E84/Senor): 自主開(kāi)發(fā)
u整機(jī)裝備控制系統(tǒng)軟件(OS): 自主開(kāi)發(fā)
u天車(chē)系統(tǒng)(OHT): 自主開(kāi)發(fā)、聚焦8英寸產(chǎn)線(xiàn)
可根據(jù)用戶(hù)使用需求,進(jìn)行定制化研發(fā)制造。
lwanquan自主化的多自由度關(guān)節(jié)機(jī)械手
l具有zhuanli技術(shù)的俯仰片盒承載裝置
l應(yīng)對(duì)wafer翻轉(zhuǎn)需求的特殊手指
l機(jī)械手具有Mapping功能
l能夠應(yīng)對(duì)厚度100 μ m-700 μ m晶圓
l運(yùn)動(dòng)能量平滑技術(shù)
lduyou安全限位技術(shù),保障wafer安全
lWPH>250片/小時(shí)
lMTBF(平均wuguzhang時(shí)間)≥1300h
l可讀取T7,M1.15