應(yīng)用:
l SiC(GaN)電力設(shè)備的氧化膜形成過程的研究和退火;
l 半導(dǎo)體的研究和開發(fā)過程;
l 玻璃基板、陶瓷、符合材料的熱處理;
l 陶瓷材料的熱沖擊試驗;
l 燒結(jié)高熔點金屬材料的各種熱處理測試;
l 作為溫度梯度爐使用;
l 可用作氣體分析的加熱爐;
儀器參數(shù) | |
型號: 溫度范圍: 樣品尺寸: 加熱氛圍: 熱電偶: 電源要求: | HT-RTA59HD 室溫~1800℃ W15mm×L15mm×T1mm 氮氣流 B型熱電偶(W-Re可選) AC 200 V 40 A 8 kW |