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牛津儀器 電子背散射衍射（EBSD）探測器C-Swift是CMOS探測器家族的新成員，專為常規(guī)材料分析和快速樣品表征而設(shè)計。C-Swift繼承了Symmetry的許多優(yōu)點，包括為EBSD專門定制CMOS傳感器。這些優(yōu)點使得C-Swift也成為一種開創(chuàng)性的EBSD探測器。
牛津儀器 電子背散射衍射（EBSD）探測器C-Swift是一個*、高速EBSD探測器。與Symmetry探測器一樣，C-Swift使用定制的CMOS傳感器來實現(xiàn)高速和高靈敏度，以確保即使在更具挑戰(zhàn)性的材料上也能獲得高質(zhì)量的結(jié)果。
C-Swift速度為1000pps，同時可獲得高質(zhì)量的花樣分辨率(156x128像素）。這相當于基于CCD的探測器以相似速度運行時所采集花樣像素數(shù)的4倍，確保所有類型樣品的可靠標定和高。無失真光學系統(tǒng)與AZtec軟件中強大的標定算法結(jié)合，使C-Swift能夠提供優(yōu)于0.05°的高角度精度。對于需要更高質(zhì)量花樣的應用, C-Swift可以以高達250pps的速度采集622x512像素的花樣，使其成為復雜的多相樣品和精細的相分析的理想選擇。
這是專為快速、有效的樣品表征而設(shè)計的探測器。系統(tǒng)的每個組件，從接近傳感器到可選的集成前置探測器，都經(jīng)過設(shè)計, 旨在更大限度地提高性能和易用性, 并使EBSD成為每個實驗室的標準工具。
牛津儀器 電子背散射衍射（EBSD）探測器C-Swift特點
當速度是關(guān)鍵時，C-Swift探測器達到了一個新標準：
- 僅需要12nA的電子束流，就能保證1000pps的標定速度
- 速度下的156x128像素的花樣分辨率——同等速度下快速CCD探測器的4倍
- 全分辨率花樣（622x512像素）——精細的相分析和形變分析的理想選擇
- 低失真光學系統(tǒng), 確保角度精度優(yōu)于0.05°
- 優(yōu)化的高靈敏度熒光屏, 確保低劑量和低束流能量下的高質(zhì)量的花樣——實現(xiàn)的空間分辨率
- 即使在速度下也能實現(xiàn)無縫的EDS集成
- 波紋管SEM接口，保持SEM真空完整性
- 的接近傳感器——在可能發(fā)生的碰撞發(fā)生之前自動將探測器移動到安全位置
- 簡單直觀的探測器設(shè)置，確保每次都能獲得良好的效果
- 五個集成的前置探測器, 提供全彩色通道襯度圖像和原子序數(shù)襯度圖像
電子背散射衍射（EBSD）是一種基于掃描電子顯微鏡（SEM)），提供樣品顯微結(jié)構(gòu)晶體學信息的技術(shù)。在EBSD中，電子束與傾斜的晶態(tài)樣品相互作用，形成衍射花樣。衍射花樣可以通過熒光屏探測到，它具有所產(chǎn)生處樣品的晶體結(jié)構(gòu)和取向特征。因此，衍射花樣可用來確定晶體結(jié)構(gòu)及取向、區(qū)分晶體上不同的相、表征晶界、和提供有關(guān)局部結(jié)晶完整性的信息。
EBSD已成為SEM中的一個出色的附件，常用來提供晶體學信息。EBSD廣泛地應用于許多不同的領(lǐng)域，以幫助材料表征，如下表所示。
AZtec EBSD系統(tǒng)結(jié)合了EBSD（ Symmetry ）的速度和靈敏度以及 AZtecHKL軟件出色的分析性能，為電子背散射衍射（EBSD）和透射菊池衍射（TKD）分析提供了一種功能強大、用途廣泛的工具。
| 行業(yè) | 材料 | 典型的EBSD測量 |
| 金屬研究和加工 | 金屬，合金 | 晶粒尺寸 |
| 航天 | 金屬間化合物 | 晶界表征 |
| 汽車 | 夾雜物/沉淀物/第二相 | 體織構(gòu) |
| 核能 | 陶瓷 | 局部織構(gòu) |
| 微電子 | 薄膜 | CSL晶界表征 |
| 地球科學 | 太陽能電池 | 再結(jié)晶或形變率 |
| 科研領(lǐng)域 | 地質(zhì) | 亞結(jié)構(gòu)分析 |
| 半導體 | 相鑒定 | |
| 超導體 | 相分數(shù)和相分布 | |
| 冰 | 相變 | |
| 金屬和陶瓷復合材料 | 斷口分析 | |
| 骨頭，牙齒 | 晶粒和相間的取向與取向差關(guān)系 |
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