產品功能
1.SJ6000激光干涉儀光學測量儀器可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量;2.可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
3.可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準;
4.可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據;
5.具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等;
6.支持手動或自動進行環(huán)境補償。
產品參數(shù)
產品型號: SJ6800產品名稱: 激光干涉儀
穩(wěn)頻方式: 雙頻激光雙縱模熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度: 0.04ppm
測量距離:≤(0-80)m(無需遠距離線性附件)
測量分辨力:1nm
測量至大速度:4m/s
線性測量精度:±(0.2μm+0.3μm/m) (0~40)℃
角度測量精度:±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值,單位:″;M為測量距離,單位:m)
主要特點:測量、恒測力、無阿貝誤差
SJ6000激光干涉儀光學測量儀器在動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。