機臺行程:200×200×200mm(其他可選)
測試精度:XY:2.8+L/150 Z:5.0+L/150
光柵尺:進口光柵尺,分辨率0.05um
測試速度:130mm/s
CCD:高分辨率工業(yè)級彩色CCD
光學(xué)系統(tǒng):高精度進口自動變倍鏡頭
體積(W×D×H):約760×820×1100mm
重量:約225kg
電源:1 ∮,AC220V,50/60HZ
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