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      產(chǎn)品|公司|采購(gòu)|資訊

      RTP6寸桌面式退火爐

      參考價(jià)200000-400000
      具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
      • 公司名稱廣東瑞樂半導(dǎo)體科技有限公司
      • 品       牌
      • 型       號(hào)
      • 所  在  地佛山市
      • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
      • 更新時(shí)間2022/12/9 9:30:29
      • 訪問次數(shù)424
      產(chǎn)品標(biāo)簽:

      退火爐

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      聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是 智能制造網(wǎng) 上看到的信息,謝謝!

      廣東瑞樂半導(dǎo)體科技有限公司成立于2016年07月27日,注冊(cè)地位于佛山市禪城區(qū)南莊鎮(zhèn)季華西路78號(hào)佛山國(guó)際陶瓷衛(wèi)浴城內(nèi)A區(qū)18座13號(hào)首層商鋪(住所申報(bào)),法定代表人為陳雪娟。經(jīng)營(yíng)范圍包括一般項(xiàng)目:技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣;機(jī)械設(shè)備銷售;機(jī)械設(shè)備租賃;泵及真空設(shè)備銷售;半導(dǎo)體器件專用設(shè)備制造;半導(dǎo)體器件專用設(shè)備銷售;電子專用材料銷售;電子測(cè)量?jī)x器銷售;電子測(cè)量?jī)x器制造;儀器儀表制造;儀器儀表銷售;智能儀器儀表制造;智能儀器儀表銷售;電工儀器儀表制造;電工儀器儀表銷售;電子專用設(shè)備制造;電子專用設(shè)備銷售;軟件開發(fā);軟件銷售;光學(xué)儀器制造;光學(xué)儀器銷售;電子元器件與機(jī)電組件設(shè)備制造;電子元器件與機(jī)電組件設(shè)備銷售;五金產(chǎn)品制造;五金產(chǎn)品批發(fā);五金產(chǎn)品零售;工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)裝置制造;工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)裝置銷售;租賃服務(wù)(不含許可類租賃服務(wù));專用設(shè)備修理;通用設(shè)備修理;儀器儀表修理;計(jì)算機(jī)軟硬件及輔助設(shè)備零售;計(jì)算機(jī)軟硬件及輔助設(shè)備批發(fā);機(jī)械零件、零部件加工;機(jī)械零件、零部件銷售;針紡織品銷售;塑料制品銷售;金屬制品銷售;電線、電纜經(jīng)營(yíng);國(guó)內(nèi)貿(mào)易代理;貨物進(jìn)出口;技術(shù)進(jìn)出口。

      RTP退火爐,TCwafer測(cè)溫晶圓,碳化硅載盤
      RTP-Table-6 是在保護(hù)氣氛下的桌面手動(dòng)快速退火系統(tǒng),以紅外可見光加熱單片 Wafer 或樣品,工藝時(shí)間
      短,控溫精度高,適用 2-6 英寸晶片。相對(duì)于傳統(tǒng)擴(kuò)散爐退火系統(tǒng)和其他 RTP 系統(tǒng),其獨(dú)的腔體設(shè)計(jì)、
      *的溫度控制技術(shù)和的 RL900 軟件控制系統(tǒng),確保了的熱均勻性。
      RTP 行業(yè)應(yīng)用
      氧化物、氮化物生長(zhǎng)
      硅化物合金退火
      砷化鎵工藝
      歐姆接觸快速合金
      氧化回流
      其他快速
      RTP6寸桌面式退火爐 產(chǎn)品信息

       

      桌面型快速退火爐

      RTP-Table-6


       

      一、 簡(jiǎn)介

      1

      .1 概要

      RTP-Table-6 是在保護(hù)氣氛下的桌面手動(dòng)快速退火系統(tǒng),以紅外可見光加熱單片 Wafer 或樣品,工藝時(shí)間

      短,控溫精度高,適用 2-6 英寸晶片。相對(duì)于傳統(tǒng)擴(kuò)散爐退火系統(tǒng)和其他 RTP 系統(tǒng),其的腔體設(shè)計(jì)、

      *的溫度控制技術(shù)和RL900 軟件控制系統(tǒng),確保了的熱均勻性。

      1

      .2 產(chǎn)品特點(diǎn)

      紅外鹵素?zé)艄芗訜?,冷卻采用風(fēng)冷

      燈管功率 PID 控溫,可精準(zhǔn)控制溫度升溫,保證良好的重現(xiàn)性與溫度均勻性

      采用平行氣路進(jìn)氣方式,氣體的進(jìn)入口設(shè)置在 Wafer 表面,避免退火過程中冷點(diǎn)產(chǎn)生,保證產(chǎn)品良好

      的溫度均勻性

      大氣與真空處理方式均可選擇,進(jìn)氣前氣體凈化處理

      標(biāo)配三組工藝氣體

      可測(cè)單晶片樣品的尺寸為 6 英寸(150mm

      采用爐門安全溫度開啟保護(hù)、溫控器開啟權(quán)限保護(hù)以及設(shè)備急停安全保護(hù)三重安全措施,保障

      儀器使用安全

      1

      .3 RTP 行業(yè)應(yīng)用

      氧化物、氮化物生長(zhǎng)

      硅化物合金退火

      砷化鎵工藝

      歐姆接觸快速合金

      氧化回流

      其他快速熱處理工藝


       

      二、 技術(shù)規(guī)格

      RTP-Table-6

      產(chǎn)品尺寸

      6 寸晶圓或者支持 150×150mm 產(chǎn)品

      腔體材質(zhì)

      溫度范圍

      鍍金鋁制腔體

      室溫~1200 (>800采用非接觸式溫度計(jì)控溫)

      150/s 可編程(此溫度為不含載盤的升溫速度)

      ±5℃≤500,±1%500

      ±1

      升溫速度

      溫度均勻度

      溫度控制重復(fù)性

      恒溫持續(xù)時(shí)間

      溫控方式

      可依據(jù)要求編程

      快速 PID 溫控

      控溫區(qū)域

      多組控溫區(qū)域,保證恒溫區(qū)溫度穩(wěn)定性

      降溫速度

      200/min 1000~400)不可編程

      可配置大氣常壓腔體或者真空腔體

      無油渦旋真空泵

      腔體設(shè)計(jì)

      真空泵

      腔體冷卻方式

      冷水機(jī)配置

      襯底冷卻方式

      工藝氣體

      水冷腔體,獨(dú)立水冷源控制冷卻

      優(yōu)先選擇瑞樂百德公司配置的冷水機(jī),或者使用廠務(wù)用水

      氮?dú)獯祾?/span>

      MFC 控制,常規(guī)三路氣體(N / O / GN

      2

      2

      2

      控制方式

      工業(yè)電腦+PC control

      溫度校準(zhǔn)

      TC Wafer 及溫度校準(zhǔn)工具(選配)

      SiC (選配)

      Wafer 托盤


       

      三、 廠務(wù)需求

      廠務(wù)需求

      機(jī)臺(tái)尺寸

      重量

      900×680×780mm(腳杯可調(diào)節(jié))

      100Kg

      電源

      3 380V 100A 50Hz

      N2 3~5Kg/cm

      2

      制程氣體

      5

      Kg/cm

      2

      CDA

      廠務(wù)排氣

      35mm 排氣口,氣體流量> 300SLM

      四、選配清單

      選配清單

      非接觸式溫度計(jì)

      多路氣體控制

      800控溫需要配置

      標(biāo)配三路氣體控制,如需要增加請(qǐng)?zhí)崆皽贤?/span>

      SiC 載盤

      晶圓載盤

      溫度校準(zhǔn)

      石墨載盤

      載盤尺寸:按照要求設(shè)計(jì)

      TC Wafer 與溫度檢測(cè)器

      冷水機(jī)

      腔體冷卻裝置(建議客戶選配,不用廠務(wù)冷卻水)

      風(fēng)冷式干泵

      腔體真空系統(tǒng)



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