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      SKY® CDG200D電容膜片真空計

      參考價面議
      具體成交價以合同協(xié)議為準
      • 公司名稱昆山熙日機械設備有限公司
      • 品       牌
      • 型       號
      • 所  在  地
      • 廠商性質其他
      • 更新時間2022/11/27 13:01:39
      • 訪問次數(shù)374
      產(chǎn)品標簽:

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      聯(lián)系我們時請說明是 智能制造網(wǎng) 上看到的信息,謝謝!

      昆山熙日機械設備有限公司是由一批長期服務于某外企的骨干精英組建而成,注冊資金100萬,自公司成立起一直致力于真空設備及配件的研究、生產(chǎn)、推廣、銷售、 安裝及維修領域。本公司經(jīng)過多年不懈的努力,已擁有一支專業(yè)的IT研發(fā) 人員和全面的銷售網(wǎng)絡,所經(jīng)營的產(chǎn)品國內(nèi)外,現(xiàn)已與國內(nèi)外多家大型企業(yè)保持著長期的合作關系,本公司產(chǎn)品以質量優(yōu)良、操作簡單、性價比高及周到的售后服務等廣受市場好評,使得公司的效益得到迅速發(fā)展,為公司的長遠發(fā)展打下牢固的基礎。公司主要經(jīng)營:真空泵、直空泵油、真空計、檢漏儀、流量計、鍍膜機、真空零配件、鍍膜機耗材等,以及實驗室儀器,實驗室耗材和其他工控產(chǎn)品。產(chǎn)品廣泛適用于:電光源、真空鍍膜、機械、光盤、冶金、石油、化工、造紙、食品、醫(yī)藥、電子、電、陶瓷、玻璃、電路板、引水、印染、制糖、制冷設備、工藝吸塑、科研、干燥及汽車維修等單位。售后服務:公司擁有專業(yè)的維修技術人員及*的檢測設備,并長期提供真空泵技術指導及修理、維護、保養(yǎng)、檢測、咨詢等服務;服務承諾:凡在本公司所購真空設備,均享有一年免費保修期, 并終身提供技術支持。公司堅持“以誠為本、信營至上”為宗旨,不斷創(chuàng)新改進,完善售后服務網(wǎng)絡。我們以秀的產(chǎn)品, *的質量,惠的價格,質的服務,愿同各界朋友互相合作,開拓美好的未來。
      SKY®CDG200D1...1000托/毫巴INFICONSKYCDG200D高溫壓力計是實現(xiàn)精確總壓測量與控制的理想之選
      SKY® CDG200D電容膜片真空計 產(chǎn)品信息

      SKY® CDG200D 1 ... 1000 托 / 毫巴

      INFICON SKY CDG200D 高溫壓力計是實現(xiàn)精確總壓測量與控制的理想之選。CDG200D 真空計溫度控制在 200 °C,具有的性能,適用于苛刻的半導體和等離子過程。在 1 乇至 1000 乇滿刻度范圍內(nèi)均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口,能夠提供 0 至 10伏、不受氣體類型限制的線性壓力信號。 INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜,具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢。INFICON CDG 品質,成本效益,適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。

      CDGxxxD tiba34_35.png

      益處

      • 擁有成本更低,預熱速度快 50%,節(jié)能,低功耗

      • 易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標配兩個設定點

      • 輕松一鍵調零或遠程信號調零指令,可調零點偏移

      • 診斷端口用于快速維修和維護

      • 兩年保修服務,加熱概念和真空計保護延長了使用壽命

      • 的信號穩(wěn)定性和可重復性,即使是Z苛刻的等離子應用,都無需長期執(zhí)行重新校準

      • 合規(guī)性與標準: CE、EN、UL、SEMI、RoHS

      典型應用

      • 用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導體制造過程

      • 化學和腐蝕性高溫過程

      • 需要真空計保護的一般薄膜和真空過程

      新聞

      配備 EtherCAT 數(shù)字接口現(xiàn)在可用!

      規(guī)格

      類型1000 ... 500 Torr / mbar200 ... 1 Torr / mbar
      精度 (1)% of reading0.40.4
      溫度效應

      零點percent FS/°C0.0050.005
      滿量程% of reading / °C0.020.02
      壓力,Z大kPa (absolute)400260
      分辨率percent FS0.0030.003
      Z低讀數(shù)percent FS0.010.01
      建議的Z低讀數(shù)percent FS0.050.05
      建議的Z低控制壓力percent FS0.50.5
      溫度

      運行(室內(nèi)環(huán)境)(4)°C+10 … +50
      在法蘭處烘烤°C≤200≤200
      貯存°C–40 … +65–40 … +65
      電源電壓
      +21 … +30 V DC or ±15 V (±5%)+21 … +30 V DC or ±15 V (±5%)
      功耗

      加熱時W≤25≤25
      運行溫度W≤18≤18
      輸出信號(模擬)V (dc)0 … +100 … +10
      反應時間 (2)ms3030
      保護等級
      IP 40IP 40
      標準

      CE 合規(guī)
      EN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHSEN 61000?6?2/-6-3, EN 61010 & RoHS
      ETL 認證
      UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
      SEMI 合規(guī)
      SEMI S2SEMI S2
      電氣連接
      D-Sub, 15-pin, maleD-Sub, 15-pin, male
      設定點

      設定點數(shù)量
      2 (SP1,SP2)2 (SP1,SP2)
      繼電器觸點≤30≤30
      滯后percent FS11
      診斷端口

      協(xié)議
      RS232-CRS232-C
      讀數(shù)
      pressure, status, IDpressure, status, ID
      設置
      set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
      暴露于真空的材料
      Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3))Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3))
      內(nèi)部容積

      內(nèi)部容積 1/2'' 管cm3 (in.3)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
      內(nèi)部容積 DN 16 ISO KFcm3 (in.3)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
      內(nèi)部容積 DN 16 CF-Rcm3 (in.3)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
      內(nèi)部容積 8 VCR®cm3 (in.3)4.2 (0.26)4.2 (0.26)
      重量

      重量 1/2'' 管g837837
      重量 DN 16 ISO KFg852852
      重量 DN 16 CF-Rg875875
      重量 8 VCR®g897897




      EtherCAT

      協(xié)議 EtherCAT
      protocol specialized for EtherCATprotocol specialized for EtherCAT
      通訊標準
      ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
      節(jié)點地址
      Explicit Device IdentificationExplicit Device Identification
      物理層
      100BASE-Tx (IEEE 802.3)100BASE-Tx (IEEE 802.3)
      數(shù)字功能讀取
      pressure, status, IDpressure, status, ID
      數(shù)字功能設置
      set points, filter, zero adjust, reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
      過程數(shù)據(jù)
      Fixed PDO mapping and configurable PDO mappingFixed PDO mapping and configurable PDO mapping
      郵箱 (CoE)
      SDO requests, responses and informationSDO requests, responses and information
      EtherCAT 連接器
      RJ45, 8-pin (socket), IN and OUTRJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
      電纜
      shielded Ethernet CAT5e or highershielded Ethernet CAT5e or higher
      電纜長度m (ft.)≤100 (330)≤100 (330)




      DeviceNet™

      協(xié)議
      DeviceNet™, group 2 slave onlyDeviceNet™, group 2 slave only
      數(shù)據(jù)率kBaud125, 250, 500 by switch or network programmable125, 250, 500 by switch or network programmable
      電纜長度 125 kbpsm (ft.)500 (1650)500 (1650)
      電纜長度 250 kbpsm (ft.)250 (825)250 (825)
      電纜長度 500 kbpsm (ft.)100 (330)100 (330)
      MAC ID
      address 00 - 63 by switch or network programmableaddress 00 - 63 by switch or network programmable
      數(shù)字功能讀取
      pressure, status, IDpressure, status, ID
      數(shù)字功能設置
      set points, filter, zero adjust, reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
      技術規(guī)格
      DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
      設備類型
      ''VG'' vacuum gauge''VG'' vacuum gauge
      I / O 從屬傳訊
      polling onlypolling only
      真空計 D 型連接器的電源電壓
      +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W+14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
      為微型連接器上的 DeviceNet 收發(fā)器提供電壓
      24 V nom / <2 W (11 … 25 V)24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
      DeviceNet™ 連接器
      microstyle, 5 pin, malemicrostyle, 5 pin, male
      CDG(模擬輸出、CDG 電源電壓、設定點)連接器
      D-sub, 15 pin, maleD-sub, 15 pin, male




      Profibus DP

      波特率9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 5009.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
      地址
      address 00 - 125 by switch or network programmableaddress 00 - 125 by switch or network programmable
      數(shù)字功能讀取
      pressure, status, IDpressure, status, ID
      數(shù)字功能設置
      set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offsetset points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
      Profibus DP 連接器
      D-sub, 9 pin, femaleD-sub, 9 pin, female
      CDG(模擬輸出、電源電壓、設定點)連接器
      D-sub, 15 pin, maleD-sub, 15 pin, male

      (1) 25 °C 環(huán)境溫度時非線性、滯后、可重復,運行 2 小時后不產(chǎn)生溫度效應。 

      (2) 增加 10 … 90 % FS 

      (3) 18% 鉻、10% 鎳、3% 鉬、69% 鐵

      , 環(huán)境溫度 >40°C 可增大表面溫度高于 SEMI S2 的規(guī)定值

      零件號

      CDG200D PIM 2016_04_18.png


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