INFICON AllceramicTM CDG025-C SKY電容膜片真空計(jì)
SKY AllCeramic CDG全部顯露于真空的表面由超純氧化鋁陶瓷構(gòu)成,替代常規(guī)CDG的不銹鋼材料,本產(chǎn)品適用于必須避免金屬污染的應(yīng)用中。
優(yōu)勢:
1、無金屬污染。
2、臨界的零點(diǎn)漂移。
3、事實(shí)上的耐腐蝕性-長傳感器的壽命的結(jié)果是減少停機(jī)時(shí)間。
4、從而階段擁有的成本。
5、在整個(gè)長的運(yùn)行周期中優(yōu)等的精度和重復(fù)性。
6、更好的長期穩(wěn)定性和溫度穩(wěn)定性。
7、對頻繁暴露于大氣不敏感??擅獬綦x閥(取決于工作模式)
8、由于保護(hù)性屏蔽(Suprashield),對微粒和過程副產(chǎn)物不敏感。
用途:
1、刻蝕、CVD和PVD工藝過程。
2、采用注入或按擴(kuò)散工藝的硅摻雜過程。
3、氧化過程。
4、產(chǎn)生膜厚為100A范圍的柵氧化層。
5、產(chǎn)生阻擋(Ti,TiN,Ta和TaN作為硅與鋁或銅之間的保護(hù)膜層)
產(chǎn)品特點(diǎn):SKY AllCeramic CDG全部顯露于真空的表面由超純氧化鋁陶瓷構(gòu)成,替代常規(guī)CDG的不銹鋼材料,本產(chǎn)品適用于必須避免金屬污染的應(yīng)用中。