B-A型真空計BAG402
INFICON單 B-A型熱陰極電離真空計BAG402 覆蓋寬闊的測量范圍從5 x 10-10毫巴至 6.7 x 10-2毫巴 (3.75 x 10-10乇至 5 x 10-2乇)。選擇INFICON BAG402用于可及的和可再現(xiàn)的過程, 在一個小型的活性真空計組件中執(zhí)行基本的壓強測量。的支持的雙燈絲提供的精度和長使用壽命。以太網(wǎng)選件可單系統(tǒng)整合。
優(yōu)勢
_ 測量范圍從 5 x 10-10毫巴至 6.7 x 10-2毫巴 (3.75 x 10-10乇至 5 x 10-2乇)
_ 的再現(xiàn)性在過程壓強從 10-8… 10-2毫巴的范圍內(nèi)為5%
_ 過壓檢測保護燈絲防止過早燒毀
_ 兩根涂敷氧化釔的長壽命銥燈絲
_ 可提供以太網(wǎng)現(xiàn)場總線接口
_ 發(fā)射電流選擇降低控制的復(fù)雜性
_ 易于更換傳感元件和在機校準數(shù)據(jù)保證高的再現(xiàn)性
_ RoHS兼容性
應(yīng)用
_ 在半導(dǎo)體過程和傳送室中的壓強測量
_ 工業(yè)鍍膜
_ 在低至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制