AllceramicTM CDG160A-C/CDG160A-CSSKY電容膜片真空計的詳細(xì)資料:
SKY AllCeramic CDG160A-C是專為高要求應(yīng)用(例如氧化,擴散和LPCVD)而設(shè)計的無金屬160oC溫控電容膜片真空計,所有暴露于真空的表面(例如管件,等離子屏蔽和污染保護罩)均由耐腐蝕的超純氧化鋁陶瓷構(gòu)成,避免來自真空計規(guī)管的潛在性金屬污染。
SKY AllCeramic CDG160A-C集成CDG160A系列真空計驗證的傳感器技術(shù),在LPCVD和其它苛刻的半導(dǎo)體制造應(yīng)用中達(dá)到高可靠和重復(fù)性的性能要求。
優(yōu)勢:
1、防止金屬污染的無金屬超純陶瓷結(jié)構(gòu)。
2、溫度控制于160oC,防止