INFICON VGC401,VGC402,VGC403真空計(jì)控制器
與全部INFICON現(xiàn)有的真空計(jì)兼容,VGC400系列控制器可監(jiān)測(cè)從10-10至1500毫巴(10-10至1125托)整個(gè)壓強(qiáng)范圍和設(shè)點(diǎn)狀態(tài)。
優(yōu)勢(shì):
1、自動(dòng)識(shí)別連接的INFICON真空計(jì)。
2、用戶(hù)可選的測(cè)量單位(毫巴,托,帕,微米汞柱)。
3、高分辨率-16位A/D變換器。
4、多至6個(gè)可調(diào)節(jié)的設(shè)點(diǎn)與可調(diào)節(jié)的滯后,可分配給任何通道。
5、承諾和標(biāo)準(zhǔn):CE,ETL,RoHS。
6、可編程的0至10伏圖形記錄儀,對(duì)每臺(tái)真空計(jì)或復(fù)合真空計(jì)均有對(duì)數(shù)/線(xiàn)性輸出(僅VGC102/403)。
7、提供固件的在線(xiàn)更新,可通過(guò)RS232接口容易下載。
8、通用的小型桌上式模式結(jié)構(gòu)可容易地安裝在面板或19’’機(jī)架上。
9、寬范圍電源90至250伏50至60Hz
用途:
1、氧化,擴(kuò)散和LPCVD過(guò)程。
2、其它要求無(wú)金屬的真空測(cè)量。