QMG 700 分析質(zhì)譜儀
超越檢測極限且達到優(yōu)異的穩(wěn)定性和細微的分辨率
半導(dǎo)體制造技術(shù)的快速發(fā)展有賴于靈敏而可靠的氣體分析解決方案。在工廠或?qū)嶒炇抑?,選擇 INFICON QMG 700 分析質(zhì)譜儀以突破檢測極限,推動工藝**,提升工藝水平。QMG 700 的模塊化設(shè)計帶來****的性能和適應(yīng)性。利用 QMG 700 增強競爭優(yōu)勢,獲得出眾的測量能力。
根據(jù)具體的應(yīng)用要求,選擇配制合適的離子源、濾質(zhì)器和射頻電源,可量身定制QMG 700。QMG 700有超過九個數(shù)量級的動態(tài)測量量程,達到ppb 檢測量級,這種優(yōu)勢使其成為超高真空測量的理想選擇。QMG 700 對整個質(zhì)量范圍都有很高的分辨率,對較低的質(zhì)量可獲得更高的分辨率。對于某些*具挑戰(zhàn)性的測量應(yīng)用,如同位素分析,氦和氘分離等,QMG 700是的選擇。QMG 700 出色的長期穩(wěn)定性可保證關(guān)鍵性的測量,有效控制您的工藝。
INFICON 在分析質(zhì)譜儀領(lǐng)域五十多年的歷史和遙遙*的技術(shù),確保QMG 700 成為進**體分析的正確選擇。依賴 INFICON QMG 700 以及我們享譽世界的應(yīng)用專長,您可獲得始終如一的高精度測量數(shù)據(jù)。
涵蓋整個質(zhì)量范圍的高分辨率:質(zhì)量 1、2 和 3 可在 ppb 范圍內(nèi)清晰地分離 QMG 700 分析質(zhì)譜儀 (AMS) 是適合以下應(yīng)用的成熟解決方案: - 氣體排放質(zhì)譜分析 - 終點檢測 - 沉積材料監(jiān)控 - 二次離子質(zhì)譜分析 功能