光伏行業(yè)硅片清洗又被稱為制絨,是通過(guò)化學(xué)品腐蝕硅片表面,使其受光面積增大,反射率降低的一種技術(shù)。硅片酸洗后需要水沖洗--烘干,轉(zhuǎn)換成氧化膜;根據(jù)氧化膜的親水性原理,利用接觸角來(lái)測(cè)試水滴的大小,來(lái)判定氧化膜的是否達(dá)到要求:
接觸角測(cè)試儀的原理:液滴在固體的表面達(dá)到平衡時(shí),在氣、液、固三相交界處,氣液界面和液固界面之間的夾角稱為接觸角
根據(jù)原理,表面張力越大(即親水性),水滴在固體表面形成的夾角越小;表面張力越小,水滴在固體表面形成的夾角越大;由此,該水滴角應(yīng)用于硅片清洗后的氧化膜效果判定上;
水滴與氧化膜接觸,角度越小代表氧化膜親水越好,氧化膜的質(zhì)量越好;
為了提供測(cè)試效率及驗(yàn)證概率問(wèn)題,在測(cè)試硅片時(shí),會(huì)采取多點(diǎn)測(cè)試五點(diǎn)測(cè)試(四邊一中)
全自動(dòng)接觸角測(cè)試,設(shè)定參考值,自動(dòng)判定結(jié)果,并且由數(shù)據(jù)全程記錄。