Apreo

功能豐富的高性能 SEM

Apreo 復合透鏡結合了靜電和磁浸沒技術，可產(chǎn)生的高分辨率和材料對比度。

Apreo 是研究納米顆粒、催化劑、粉末和納米器件的理想平臺，而不會降低磁性樣品性能。傳統(tǒng)的高分辨率 SEM 透鏡技術分為兩類：磁浸沒或靜電。FEI 將兩種技術結合到一個儀器中。這樣做所產(chǎn)生的成效遠遠超過任一種鏡筒的個體性能。兩種技術均使電子束形成細小探針，以提高低電壓下的分辨率，并使信號電子進入鏡筒。通過將磁透鏡和靜電透鏡組合成一個復合透鏡，不但提高了分辨率，還增加了*的信號過濾選項。靜電-磁復合末級透鏡在 1 kV 電壓下的分辨率為 1.0 nm（無電子束減速或單色器）。

Apreo 擁有透鏡內(nèi)背散射探測器 T1，其位置緊靠樣品以便盡可能多地收集信號，從而確保在很短的時間內(nèi)采集數(shù)據(jù)。與其他背散射探測器不同，這種快速的探測器始終可保證良好的材料對比度，在導航時、傾斜時或工作距離很短時也不例外。在敏感樣品上，探測器的價值凸現(xiàn)出來，即使電流低至幾 pA，它也能提供清晰的背散射圖像。復合末級透鏡通過能量過濾實現(xiàn)更準確的材料對比度以及絕緣樣品的無電荷成像，進一步延伸了 T1 BSE 探測器的潛在價值。它還提供了流行選項來補充其探測能力，例如定向背散射探測器(DBS)、STEM 3+ 和低真空氣體分析探測器 (GAD)。所有這些探測器都擁有無二的軟件控制分割功能，以便根據(jù)需求選擇價值的樣品信息。

每個 Apreo 都按標準配備各種用以處理絕緣樣品的策略，包括：高真空技術，例如 SmartSCAN™、漂移補償幀積分(DCFI) 和電荷過濾。對于挑戰(zhàn)性的應用，Apreo 可提供電荷緩解策略。其中包括可選的低真空（為 500 Pa）策略，通過經(jīng)現(xiàn)場驗證的穿鏡式差分抽氣機構和專用低真空探測器，不但可以緩解任何樣品上的電荷，還能提供的分辨率和較大的分析電流。

隨著分析技術的使用越來越常規(guī)化，Apreo 倉室經(jīng)過全新設計，以便更好地支持不同的配件和實驗。倉室最多容納三個 EDS/WDS 端口，可實現(xiàn)快速敏感的 X 射線測量、共面EDS/EBSD/TKD 排列并與（冷凍）CL、拉曼、EBIC 和其他技術兼容。

所有這些功能都能通過簡單的樣品處理和熟悉的 xT UI 獲得，節(jié)省了新用戶和專家級用戶的時間?？勺远x的用戶界面提供了諸多用戶指導、自動化和遠程操作選項。

1、分辨率：二次電子（SE）像

15 kV時優(yōu)于1 nm，1 k V時優(yōu)于1.3 nm（非減速模式）

著陸電壓：20V ～ 30 kV

電子束流：1pA ～ 400 nA，連續(xù)可調(diào)

2、樣品室和樣品臺

樣品室左右內(nèi)徑不小于340mm，容納200mm

樣品臺：五軸馬達驅(qū)動，移動范圍：

X≥ 110mm，Y≥ 110mm，Z≥ 65mm，T≥ -15～+90°，R= 360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)

3、探測器：

二次電子探頭

普通二次電子檢測器;

極靴內(nèi)高位二次電子探測器