
ZPT-X大型隔振光學(xué)平臺(tái)
產(chǎn)品特點(diǎn):
■大型隔振光學(xué)平臺(tái)基礎(chǔ)根據(jù)用戶要求實(shí)驗(yàn)面積較大的使用情況研制開發(fā)的產(chǎn)品,其保持了原氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)的優(yōu)點(diǎn),在重載荷下具有抗系統(tǒng)干擾的能力。
■氣動(dòng)元器件均采用德國(guó)FESTO產(chǎn)品,標(biāo)配進(jìn)口無(wú)油壓縮機(jī)。
■該產(chǎn)品適用于對(duì)隔振要求較高,平臺(tái)工作臺(tái)面大,載荷要求高的環(huán)境。
技術(shù)指標(biāo):
■平面度:< 0.05mm/m2
■表面粗糙度:<0.8μm
■固有頻率:1.2Hz~2.0Hz
■表面粗糙度:<0.8μm
■固有頻率:1.2Hz~2.0Hz
■減振效率:x方向<5Hz時(shí):86%~92% y方向<5Hz時(shí):84%~90%
■重復(fù)定位精度:±0.05mm
x方向<10Hz時(shí):90%~96% y方向<10Hz時(shí):88%~93%
■振幅:< 1.2μm■重復(fù)定位精度:±0.05mm
接受客戶任意規(guī)格定制生產(chǎn)