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JSM-7610FPlus 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

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公司名稱北京培科創(chuàng)新技術(shù)有限公司
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廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2022/11/8 10:35:39
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北京培科創(chuàng)新技術(shù)有限公司

培科創(chuàng)新是一家專注于科學(xué)研究及工業(yè)應(yīng)用的儀器渠道商和系統(tǒng)解決方案提供商，我們?yōu)楦咝?、科研院所、企業(yè)等各類客戶提供全面的儀器設(shè)備解決方案。公司成立于2012年，總部設(shè)在北京，在上海、深圳、沈陽(yáng)等地設(shè)有多個(gè)辦事處。
培科創(chuàng)新，與多家儀器制造商建立了良好的戰(zhàn)略合作關(guān)系，不斷優(yōu)化提升的公司自身營(yíng)運(yùn)和服務(wù)質(zhì)量，致力于向用戶提供國(guó)際的產(chǎn)品、化的解決方案和高品質(zhì)的專業(yè)服務(wù)，承擔(dān)著科技產(chǎn)業(yè)助推器的責(zé)任，服務(wù)并推動(dòng)科學(xué)研究和科技產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

培科創(chuàng)新，秉承高度負(fù)責(zé)和誠(chéng)信的原則展開(kāi)業(yè)務(wù)，努力營(yíng)造員工和客戶之間互相尊重、坦誠(chéng)溝通、高效互動(dòng)的健康環(huán)境。我們了解客戶的實(shí)際需求，并提供合理優(yōu)質(zhì)的解決方案，并盡力滿足客戶的近期和長(zhǎng)期需求。培科在客戶的關(guān)注和員工們的努力中不斷進(jìn)步，擁有遍布全國(guó)的營(yíng)銷渠道和服務(wù)網(wǎng)絡(luò)、職業(yè)化的技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)。

優(yōu)秀的員工、科學(xué)的管理、高效的營(yíng)運(yùn)、便捷的信息網(wǎng)絡(luò)、雄厚的資金、多年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和*的經(jīng)營(yíng)理念，是我們服務(wù)于客戶的基礎(chǔ)和保證。

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的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過(guò)改進(jìn)，實(shí)現(xiàn)了分辨率（15kV0.8nm、1kV1.0nm）的進(jìn)一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相

JSM-7610FPlus 熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡產(chǎn)品信息

的JSM-7610F的光學(xué)系統(tǒng)經(jīng)過(guò)改進(jìn)，實(shí)現(xiàn)了分辨率（15kV 0.8nm、1kV 1.0nm）的進(jìn)一步提升，以嶄新的JSM-7610FPlus形象亮相。采用半浸沒(méi)式物鏡和High Power Optics照明系統(tǒng)，能提供穩(wěn)定的高空間分辨率觀察和分析。

此外還具備利用GENTLEBEAM^TM模式進(jìn)行低加速電壓觀察、通過(guò)r-filter分選信號(hào)等滿足各種需求的高擴(kuò)展性。主要特點(diǎn)如下：

◇ 半浸沒(méi)式物鏡

半浸沒(méi)式物鏡在樣品周圍形成強(qiáng)磁場(chǎng)，因而可以獲得超高分辨率。

◇ High Power Optics

High Power Optics 是的電子光學(xué)系統(tǒng)，既實(shí)現(xiàn)了高倍率觀察又能進(jìn)行多種分析。

浸沒(méi)式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，可以獲得10 倍于傳統(tǒng)肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍（FEG）的探針電流，光闌角控制鏡（ALC）在探針電流增大時(shí)也能保持小束斑，兩者組合起來(lái)能提供200 nA 以上的探針電流。強(qiáng)大的High Power Optics 系統(tǒng)，從高倍率圖像觀察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的最小物鏡光闌而不需要改換。

浸沒(méi)式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍銃

浸沒(méi)式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍通過(guò)和低像差聚光鏡組合，可以有效地收集從電子槍內(nèi)發(fā)射的電子。

光闌角控制鏡（ACL）

光闌角控制鏡（ACL）配置在物鏡的上方，在整個(gè)探針電流范圍內(nèi)自動(dòng)優(yōu)化物鏡光闌的角度。因此，即使照射樣品的探針電流很大，與傳統(tǒng)方式相比，也能獲得很小的電子束斑。

即使探針電流很大，束斑直徑也很小

長(zhǎng)時(shí)間分析時(shí)穩(wěn)定度也很高

◇ 柔和電子束（GB:GENTLEBEAM^TM）模式

GB 模式的效果

GB 模式在低電壓下提高分辨率

左圖一般模式，右圖GB模式

增強(qiáng)了的低加速電壓下的分辨率

◇ r-過(guò)濾器

◇ LABE檢測(cè)器（選配件）

利用LABE 檢測(cè)器獲取低角度背散射電子像

◇ 擴(kuò)展性

能譜儀（EDS）

波譜儀（WDS）

陰極熒光系統(tǒng)（CL）

技術(shù)參數(shù)

二次電子像分辨率	0.8 nm（加速電壓 15 kV），1.0 nm（加速電壓 1 kV ）分析時(shí) 3.0 nm (加速電壓 15 kV, WD 8 mm, 探針電流 5 nA )
倍率	Direct magnification: x25 to 1,000,000（120 x 90 mm） Display magnification: x75 to 3,000,000（1,280 x 960 pixels）
加速電壓	0.1 ～ 30 kV
探針電流	數(shù) pA ～ 200 nA
電子槍	浸沒(méi)式肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
透鏡系統(tǒng)	聚光鏡（CL）、光闌角控制鏡（ACL）、半浸沒(méi)式物鏡（OL）
樣品臺(tái)	全對(duì)中測(cè)角樣品臺(tái)、5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
電子檢測(cè)器系列	高位檢測(cè)器、　r‐過(guò)濾器　內(nèi)置、低位檢測(cè)器
自動(dòng)功能	自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消象散、自動(dòng)亮度/襯度調(diào)節(jié)
圖像觀察用液晶顯示器	屏幕尺寸 23英寸寬屏分辨率　1,920 × 1,080像素
抽真空系統(tǒng)	電子槍室／中間室　SIP 離子泵樣品室　TMP 分子泵